MPCVD 需要檢漏: 在使用 MPCVD 設備進行金剛石合成的過程中, 如果設備有泄漏的情況, 將會使合成的金剛石中摻有雜質, 影響金剛石的品質, 一般漏率要求 1E-9 mbar l/s. 需要快速的對設備進行定量定位的泄露檢測, 傳統檢漏方式無法滿足.

上海伯東 MPCVD 設備檢漏客戶案例: 為了解決這一問題, 上海伯東推薦客戶采購氦質譜檢漏儀 ASM 340, 利用真空法對 MPCVD 進行檢漏, 漏率設置 1E-9 mbar l/s.
1. 將設備通過波紋軟管連接檢漏儀 ASM 340, 確認連接完畢
2. 啟動 ASM 340, 進入待機界面; 初次啟動時間大約 3min, 以后啟動 < 1min
3. 按下開始鍵, 先通過 bypass 閥門啟動干式真空泵 ACP 28 抽真空, 到達一定壓力檢漏儀 ASM 340 開始工作, 同時在設備懷疑有漏的地方噴氦氣 (腔體, 焊縫, 連接處); 若有漏, 檢漏儀馬上報警, 顯示該噴射點有漏.
4. 檢測完畢, 按下檢漏儀待機鍵, 放氣, 關閉電源, 移除連接管路.
氦質譜檢漏儀 ASM 340 與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點.

	型號	ASM 340 W
	對氦氣的最小檢測漏率	5E-13 Pa m3/s
	檢測模式	真空模式和吸槍模式
	檢測氣體	4He, 3He, H2
	啟動時間 min	3
	對氦氣的抽氣速度 l/s	2.5
	進氣口最大壓力 hPa	25
	前級泵抽速 m3/h	油泵 15
	重量 kg	56