氦質(zhì)譜檢漏儀連接到真空鍍膜產(chǎn)線時建議考慮以下二點
1. 大漏檢測
真空鍍膜設(shè)備調(diào)試或維護(hù)之后出現(xiàn)的泄漏往往很大, 市場上常見的氦氣檢漏儀最大工作壓力通常在約 6 至 25 mbar 之間. 如果存在大量泄漏, 抽真空時有可能無法達(dá)到此壓力. 下圖展示的是一臺 Si3 N4 氮化硅鍍膜系統(tǒng). 在某次維護(hù)之后, 抽真空時只能達(dá)到 80 mbar 的壓力. 為了在如此高的工作壓力之下依然能夠進(jìn)行檢漏, 推薦選用上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340. ASM 340 檢漏儀特有的定性大漏檢測模式 ( 在 100 hPa 即可進(jìn)行大漏測試 ) , 借助此模式即可定位存在的漏點.
2. 使用鍍膜系統(tǒng)自帶輔助泵, 協(xié)助抽氣
將氦質(zhì)譜檢漏儀連接到真空鍍膜產(chǎn)線的前級真空線上. 可以快速抽空大量氣體, 提高檢漏節(jié)拍, 并且可以保護(hù)檢漏儀不受熱應(yīng)力的影響, 延長檢漏儀維護(hù)周期, 降低運營成本.
氦質(zhì)譜檢漏儀真空鍍膜生產(chǎn)線檢漏方法:
采用真空法檢漏, 設(shè)定真空模式下漏率值, 鍍膜機(jī)不需要停機(jī), 直接在真空泵的旁路利用波紋管接入檢漏儀, 在懷疑有漏的地方(管路, 接頭等)噴氦氣, 即可完成檢漏.
上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)參數(shù)
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型號
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ASM 340 W
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ASM 340 D
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ASM 340 I
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進(jìn)氣口法蘭
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DN 25 ISO-KF
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檢測氣體
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氫氣和氦氣
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對氦氣 4He 的最小檢測漏率
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真空模式: 1X10-12 mbar l/s, 吸槍模式: 5X10-9 mbar l/s
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檢測模式
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真空模式 (負(fù)壓) 和吸槍模式 (正壓)
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檢測氣體
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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無校準(zhǔn)啟動時間
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約 3 min
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響應(yīng)時間
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<1 s
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Interface 接口
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RS-232, 基本I/O, 現(xiàn)場總線選項和 USB
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對氦氣的抽氣速度
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2.5 l/s
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進(jìn)氣口最大壓力
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25 mbar
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5 mbar
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前級泵抽速
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油泵 15 m3/h
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隔膜泵 3.4 m3/h
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不含前級泵
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工作溫度
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0-45°C (真空模式)
0-40 °C (吸槍模式)
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0-35 °C
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0-40 °C
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電壓
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100-110 V AC, 50/60 Hz
200-240 V AC, 50/60 Hz
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100-240 V AC, 50/60 Hz
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100-240 V AC, 50/60 Hz
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功耗
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850 W
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600 W
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350 W
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重量
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56 kg
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45 kg
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32 kg
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尺寸
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547x350x389 mm
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結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢, 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用案例 >>
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上海伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340D 應(yīng)用于真空鍍膜生產(chǎn)線
