上海伯東提供氦質(zhì)譜檢漏儀壓力傳感器芯片檢漏方案
難點(diǎn): 已封裝好的壓力傳感器芯片, 體積小, 無法與檢漏儀進(jìn)氣口相連
要求: 為滿足生產(chǎn)節(jié)拍, 需要進(jìn)行快速無損的檢漏, 協(xié)助客戶定制保壓罐和真空測試罐, 真空模式下, 單次測試幾十個芯片, 整體檢漏漏率要求 1E-10 mbarl/s
檢漏設(shè)備: 德國 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 + 定制保壓罐和真空測試罐

檢漏流程如下:
1. 封裝好的壓力傳感器芯片放在一個密封的保壓罐內(nèi), 內(nèi)部充 3Bar 或者更高壓力的氦氣, 保壓 30min至 1h
氦質(zhì)譜檢漏儀壓力傳感器芯片檢漏

2. 把芯片從保壓罐內(nèi)取出, 用高純氮?dú)鈱Ξa(chǎn)品表面吹掃, 以便殘余在表面的氦氣沖走, 保證測試的準(zhǔn)確性, 吹掃后再放置到真空測試罐.

3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 連接到真空測試罐, 打開檢漏儀, 設(shè)定檢漏儀真空模式下報警精度為 1E-10 mbarl/s, 開始檢漏.
氦質(zhì)譜檢漏儀壓力傳感器芯片檢漏

4. 測試過程中如果檢漏儀不報警, 判定芯片符合漏率要求, 如果檢漏儀報警, 則判定此批次不合格.

結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢, 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用案例 >>

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更新 : 2026-02-09

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