氦質譜檢漏儀 ASM 340 常見故障和建議
1. 無法達到真空值, 開機提示高真空泵異常, 無法進行檢漏
案例一:
檢測: 檢漏儀 ASM 340W 前級泵 RVP 1015 泵油已變質, 密封件損壞, 導致真空度異常
維修方案: 更換前級泵油, 并對前級泵進行拆解和維修保養, 更換耗材維修包, 更換油污過濾器
建議: 通過油視鏡觀察檢漏儀油位和顏色, 一般使用 4300 小時, 建議換油, 并對前級泵進行保養
案例二:
檢測: 檢漏儀 ASM 340D 前級泵 MVP 020 膜片嚴重磨損, 導致真空度異常
維修方案: 對前級泵 MVP 020 進行拆解和清潔, 更換膜片維修包
建議: 粉塵異物的進入, 腐蝕性氣體的侵蝕, 都可能造成膜片損傷, 建議定期進行拆解保養
案例三:
檢測: 分流式分子泵 Splitflow50 油棉變色, 陶瓷軸承磨損
維修方案: 分子泵標準保養, 拆解清潔, 更換油棉和陶瓷軸承.
建議: 間隔 4年需要對檢漏儀進行一次檢測, 如果出現異響, 報警等故障, 需要盡快送修檢測
2. 燈絲故障報警, 內置標準漏孔無法校準
檢測: 檢漏儀 ASM 340 內置2組燈絲, 交替檢測后確認 2號燈絲損壞; 內置標準漏孔長時間未更換, 實際漏率偏差過大
維修方案: 更換新燈絲, 更換新的內置標準漏孔
建議: 避免檢漏儀因操作不當, 導致大量大氣沖擊, 損壞燈絲; 內置標準漏孔氦氣余量不足會導致測量誤差過大, 定期對檢漏儀進行檢測, 及時發現耗材缺失, 以免影響使用.
3. 質譜室故障報警
檢測: 質譜室發現放大器 (鏡片) 損壞, 質譜室有油液污染
維修方案: 拆解清潔, 更換放大器 (鏡片)
建議: 檢漏儀工作環境最大空氣濕度 85% 無冷凝, 如果長期未開機容易導致放大器 (鏡片) 損壞, 建議存放時間不要超過 3個月, 定期開機測試.
Pfeiffer 氦質譜檢漏儀內部包含前級泵, 分子泵, 皮拉尼, 內部漏孔, 電磁閥, 電路板, 電源模塊, 閥塊, 燈絲, 收集器, 放大器, 密封套件等, 在運轉一定時間后會遇到部件損耗和工藝制程污染的問題, 及時對檢漏儀進行維護保養可以大大延長其使用時間, 避免因突然故障停機帶來的經濟損失!
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