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抽速l/s |
10 |
30 |
67 |
300 |
380 |
685 |
790 |
1250 |
1500 |
1900 |
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低振動 |
HiPace 10 Neo |
HiPace 30 Neo |
HiPace 80 Neo |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
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高排氣量 |
|
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HiPace 350 |
HiPace 450 |
HiPace 700 |
HiPace 800 |
HiPace 1200 |
HiPace 1500 |
HiPace 1800 |
HiPace 2300 |
Edwards STP 磁懸浮分子泵: 抽速范圍 300 至 4500 l/s, 極限真空 10-7 hPa
特點: 抽速范圍廣, 全磁浮設計, 無污染
適用于運行要求時間長,維護需求小且振動低的高真空應用, 廣泛應用于半導體市場.
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抽速l/s |
300 |
600 |
1000 |
1600 |
2200 |
3200 |
4000 |
4500 |
|||
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超高真空 |
301 |
451 |
603 |
1003 |
- |
- |
- - |
- |
- |
- |
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高排氣量 |
H301C |
H451C |
H803C |
H1303C |
- |
- |
- - |
- |
- |
- |
|
|
高排氣量 |
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A803C |
A1303C |
A1603C |
A2203C |
- - |
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高流量和高排氣量 |
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- |
- |
- |
F2203C |
XA2703C |
XA3203C |
XA4503C |
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振動小 |
L301 |
L451 |
- |
- |
- |
- |
- |
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集成控制器 |
iX457 |
iXU457 |
- |
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iS1607 |
iS2207 |
iXA2206 |
iX3006 |
iXA3306 |
iXA4506 |
iXA4507 |
上海伯東同時提供高真空系統所需的前級泵, 用于真空測量的真空規, 用于腔體密封性測試的氦質譜檢漏儀, 反應過程氣體分析的殘余氣體分析儀以及真空閘閥, 離子源等, 客制化提供高真空系統解決方案.
上海伯東高真空分子泵對比
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