一、鍍膜設備檢漏原因
福建最大的太陽能晶體矽電池制造公司, 專業生產太陽能單晶和多晶電池片. 該公司在生產過程中應用了PECVD沉積 Si3N3減反層, 4-5天設備需要保養一次(清潔MASK, 更換支架等等), 由于是清潔設備內部, 所以存在內部腔體密封性失效的可能. 如果鍍膜設備密封性不好, 鍍出來的產品膜厚會不均勻, 產品四周膜參數會不合格.
如果鍍膜設備保養完成后, 能做一次檢漏, 就可以避免很多不合格產品的產生, 達到節約生產成本的目的. 德國 Pfeiffer的HLT 560 氦質譜檢漏儀具有操作簡單, 反應靈敏的特點, 得到了客戶的青睞.

二、鍍膜設備檢漏操作
示意圖如下:
pfeiffer 氦質譜檢漏儀用于 PECVD 鍍膜設備檢漏

(1).將氦質譜檢漏儀 HLT 560連接到泵組前的檢漏口上.
(2).啟動檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時啟動鍍膜設備的泵組.
(3).在鍍膜機內部的真空下降到一定程度的時候,如0.5 mbar以下的時候,拿氦氣噴在懷疑有漏的地方,或者檢查標準保養時動到的部位.這時需要有人觀察檢漏儀的漏率指示值的變化.當漏率上升或漏率值變化劇烈的時候,及時指出漏點所在位置,并做記號.
(4).所有可疑點都檢測完成后,關閉檢漏儀,停下鍍膜機的泵組并將鍍膜機打開,將檢測出的漏點進行處理(如更換密封圈,清潔等等).處理完成后,再按照前敘步驟檢查一遍,直到所有漏點都被清除,檢漏過程完成.
結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質譜檢漏儀的技術優勢, 上海伯東普發 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產品線, 從便攜式氦質譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 氦質譜檢漏儀與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 上海伯東氦質譜檢漏儀應用案例 >>

若您需要進一步的了解 Pfeiffer 普發氦質譜檢漏儀詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958
qq: 2821409400
現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東葉小姐 1391-883-7267
上海伯東版權所有, 翻拷必究！