掃描電子顯微鏡 SEM, 簡稱掃描電鏡原理是利用電子束掃描物體表面實現成像. 空氣的存在會使的電子束變型, 影響掃描效果,因此要抽真空, 高效的渦輪分子泵有利于保持樣品室的清潔度; 電子束系統中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效, 所以除了在使用 SEM 時需要在真空環境下, 平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空室.

HiPace Plus 系列渦輪分子泵是為掃描電子顯微鏡 ( 掃描電鏡 SEM ) 和高端質譜行業量身定做的產品, 分子泵低振動和低磁場設計, 廣泛集成在泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS , 日立 Hitachi, 日本電子 Jeol 等分析儀器設備里.
Pfeiffer HiPace Plus 渦輪分子泵目前在售型號 HiPace 300 Plus 和 HiPace 700 Plus

以 HiPace 300 舉例,主要技術參數如下:

型號	渦輪分子泵 HiPace 300			渦輪分子泵 HiPace 300 Plus
允許環境磁場	≤ 5.5 mT	≤ 5.5 mT	≤ 5.5 mT	≤ 3 mT	≤ 3 mT		≤ 3 mT
最大允許磁場	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT		5.5 mT
噪音	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)		≤50 dB(A)
安裝方式	任意位置安裝			垂直,法蘭向上
進氣口	DN 100 ISO-K	DN 100 CF-F	DN 100 ISO-F	DN 100 ISO-K		DN 100 ISO-K	DN 100 ISO-K
極限真空度	<1X10^-7 hPa	< 5X10^-10 hPa	< 1X10^-7 hPa	<1X10^-7 hPa		< 5X10^-10 hPa	< 1X10^-7 hPa
Ar 抽速	255 l/s	255 l/s	255 l/s	255 l/s		255 l/s	255 l/s
H2 抽速	220 l/s	220 l/s	220 l/s	220 l/s		220 l/s	220 l/s
He 抽速	255 l/s	255 l/s	255 l/s	255 l/s		255 l/s	255 l/s
N2 抽速	260 l/s	260 l/s	260 l/s	260 l/s		260 l/s	260 l/s
Ar 壓縮比	> 1X10¹¹
H2 壓縮比	9X10⁵
He 壓縮比	> 1X10⁸
N2 壓縮比	> 1X10¹¹
分子泵全速時 Ar 氣體流量	7 hPa l/s	7 hPa l/s	7 hPa l/s	2 hPa l/s		2 hPa l/s	2 hPa l/s
分子泵全速時 He 氣體流量	10 hPa l/s	10 hPa l/s	10 hPa l/s	8 hPa l/s		8 hPa l/s	8 hPa l/s
分子泵全速時 H2 氣體流量	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s		> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s
分子泵全速時 N2 氣體流量	14 hPa l/s	14 hPa l/s	14 hPa l/s	5 hPa l/s		5 hPa l/s	5 hPa l/s
Ar 前級真空	25 hPa	25 hPa	25 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa
H2 前級真空	8,5 hPa	8,5 hPa	8,5 hPa	8,5 hPa		8,5 hPa	8,5 hPa
He 前級真空	20 hPa	20 hPa	20 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa
N2 前級真空	20 hPa	20 hPa	20 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa