低溫掃描隧道顯微鏡 LT-STM 具有最長的 LHe 保持時間, 極低的漂移率和出色的穩定性dz<1 pm, 最先進的光譜和原子操縱可以在低溫下對金屬, 半導體, 絕緣體, 超導體和碳進行.

LT-STM 系統需要在超高真空環境中進行研究, 對真空度要求及其高, 真空可到 1E-10mbar, 需要用前級泵, 分子泵, 離子泵, 鈦泵等組合使用來達到要求, 同時分子泵需要低振動, 低噪音, 清潔無油確保超高真空的穩定性以保證晶體的生長和后期的探測分析.

上海伯東低溫掃描隧道顯微鏡 LT-STM 客戶案例某搭建 LT-STM 真空互聯系統公司, 采購 5套渦輪分子泵 HiPace 300 用于給裝置提供超高真空.

HiPace 300 主要技術參數如下:

抽速 L/S

N2: 260,  H2: 220, He: 255, Ar: 255

全轉速時氣體流量
mbar l/s

N2: 14, H2: > 14, He: 20, Ar:7

壓縮比

N2: >1X1011, H2: 9X105
He: >1X108, Ar: >1X1011

聲壓水平

≤ 50 dBA

最大功率消耗

300 W

最大電流

12.5 A

安裝方向

任意方向

允許輻射的最大熱功率

2.4 W

最大允許磁場

5.5 MT

轉速 ± 2 %

60000 min-1

上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外,  渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導體制造和分析應用提供更優的解決方案.

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Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 300 應用于低溫掃描隧道顯微鏡 LT-STM

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更新 : 2026-02-05

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