上海伯東 ARPES 光束線客戶案例: 某光源 ARPES 光束線真空系統, 真空系統是同步輻射光束線的重要組成部分, 只有在真空環境中運行, 光學元件才能夠將同步輻射光傳輸到試驗站, 真空系統的作用就是獲得并維持合理的真空度, 保證光束線的穩定運行. 此系統搭配伯東 Pfeiffer 分子泵 HiPace 80, Hipace 300 及配套真空規.

真空系統要求 (分子泵 ) :
1. 靜態真空 ( 無束流 ): 5x10-8 Pa,動態真空(有束流): <5x10-7 Pa
2. 真空系統基本配置: 離子泵 + 無油分子泵 + 冷陰極真空規管 + 氣體分析儀
分子泵應用于角分辨光電子能譜 ARPES

超高真空系統配置:

	渦輪分子泵 HiPace 300 接口: DN 100 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮氣壓縮比: > 1X1011
	渦輪分子泵 HiPace 80 接口: DN 63 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮氣壓縮比: > 1X1011
	殘余氣體分析儀 PrismaPro 質量數: 1-300 amu 四極桿直徑／長度: 6 /125 mm 最大工作壓力 F hPa: 5X10^-4

上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導體制造和分析應用提供更優的解決方案.

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