掃描隧道顯微鏡 STM 是一種利用量子理論中的隧道效應(yīng)探測(cè)物質(zhì)表面結(jié)構(gòu)的儀器, STM 技術(shù)的最大優(yōu)勢(shì)在于可獲得原子級(jí)的分辨率.

分子束外延 MBE 與掃描隧道顯微鏡 STM 聯(lián)用: 可以成功分析 MBE 生長(zhǎng)晶體表面結(jié)構(gòu), 這種聯(lián)用現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于各大院校和研究院應(yīng)用表面物理實(shí)驗(yàn)中. 分子束外延 MBE 與掃描隧道顯微鏡 STM 系統(tǒng)都需要在超高真空環(huán)境中進(jìn)行, 對(duì)真空度要求及其高, 需要分子泵低振動(dòng), 低噪音, 清潔無(wú)油確保超高真空的穩(wěn)定性已保證晶格的生長(zhǎng)和后期的探測(cè)分析. 上海伯東 Pfeiffer 分子泵搭配美國(guó) HVA 真空閥門(mén)成功應(yīng)用于此行業(yè).

上海伯東 MBE 與 STM 聯(lián)用客戶(hù)案例: 某大學(xué)自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統(tǒng),經(jīng)過(guò)伯東推薦,采用 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300 和渦輪分子泵 Hipace 80 并搭配美國(guó) HVA 真空閘閥成功分析生長(zhǎng)晶體表面結(jié)構(gòu).
分子泵分子束外延 MBE 與掃描隧道顯微鏡 STM 聯(lián)用

超高真空系統(tǒng)配置:

	渦輪分子泵 HiPace 300 接口: DN 100 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮?dú)鈮嚎s比: > 1X1011
	渦輪分子泵 HiPace 80 接口: DN 63 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮?dú)鈮嚎s比: > 1X1011
	HVA 超過(guò)真空閘閥 11000 口徑: DN 50 CF-F 極限真空: 1x10^-10mbar 手動(dòng)操作

上海伯東銷(xiāo)售維修 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結(jié)構(gòu)和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應(yīng)用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統(tǒng), 確保低噪音和低振動(dòng)運(yùn)行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號(hào), 包括針對(duì)氫氣等輕質(zhì)氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號(hào). 這些豐富的專(zhuān)用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導(dǎo)體制造和分析應(yīng)用提供更優(yōu)的解決方案.

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Pfeiffer 普發(fā)分子泵分子束外延 MBE 與掃描隧道顯微鏡 STM 聯(lián)用

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