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為什么需要真空環境?
1. 真空探針臺通過搭配分子泵組, 配合真空吸附卡盤及真空吸附探針座的使用, 通過空氣壓縮, 固定樣品及探針座.
2. 由于晶圓在超低溫情況下進行探測, 水氣將會出現并且將會凍結晶圓. 水氣會影響測量, 導致測量失敗. 真空腔中的水氣需要通過真空泵排出.
3. 當晶圓加熱超過 300攝氏度, 400攝氏度, 500攝氏度或者更高溫度時, 會發生很強烈的氧化. 溫度越高, 越加大硅片表面的氧化, 氧化將使晶圓降低電學性, 物理性和機械性. 真空腔中的氧氣需要通過分子泵組來排出.

上海伯東渦輪分子泵組應用于低溫真空探針臺客戶案例: 某企業通過上海伯東推薦采購德國 Pfeiffer 經濟型分子泵組 HiCube 80 Eco, 分子泵與隔膜泵結合, 整機設計, 即插即用, 提供清潔, 低振動, 穩定的高真空環境.

上海伯東 Pfeiffer 普發分子泵組 HiCube Eco 技術規格

泵組型號	進氣法蘭	分子泵型號	抽速氮氣l/s	極限真空 hPa	前級泵型號	前級泵抽速 m³/h
Hicube 80 Eco	DN 40 ISO-KF	HiPace 80	35	1X10-7	MVP 015-2	0.5
	DN 63 CF-F	HiPace 80	67	1X10-8	MVP 015-2	1
	DN 63 ISO-K	HiPace 80	67	1X10-7	MVP 015-2	1

上海伯東 Pfeiffer普發渦輪分子泵組HiCube Neo抽速范圍 80 至 800 l/s, 滿足高真空應用, 使用分子泵 HiPace H 時，真空度可達 <10-10hPa 的超高真空. 上海伯東針對您的應用推薦分子泵組配置, 可選配不同型號的分子泵, 前級泵 (隔膜泵, 旋片泵, 渦旋泵和多級羅茨泵), 并提供臺式和移動式兩種類型. HiCube Neo 渦輪分子泵組采用即插即用的操作方式, 可立即投入使用, 推薦搭配 Pfeiffer 真空計共同使用.

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上海伯東: 葉小姐臺灣伯東: 王小姐
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上海伯東 Pfeiffer 普發分子泵組 HiCube 80 應用于低溫真空探針臺