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型號 |
ASM 340 WET |
ASM 340 D |
ASM 340 I |
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對氦氣的最小檢測漏率, 真空模式 |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
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檢測模式 |
真空模式和吸槍模式 |
真空模式和吸槍模式 |
真空模式和吸槍模式 |
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檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
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對氦氣的抽氣速度 l/s |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
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進氣口最大壓力 hPa |
25 |
25 |
5 |
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前級泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
隔膜泵 3.4 |
不含前級泵 |
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重量 kg |
56 |
45 |
32 |
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