流量控制閥 MFC 主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制. 流量控制閥 MFC 在半導體和集成電路工業(yè), 特種材料學科, 化學工業(yè), 石油工業(yè)和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用.

上海伯東客戶主要生產(chǎn)流量控制閥 MFC, 由于產(chǎn)品的特殊性. 對密封性要求特別高，達5E-11 Pa m3/s，選用其他氦質(zhì)譜檢漏儀根本達不到實際生產(chǎn)測量要求, 或者生產(chǎn)效率特別低下，經(jīng)過實際論證, 最終確定選用上海伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀.

上海伯東德國普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 采用觸屏設計, 中文操作界面, 使用業(yè)界最新工藝設計生產(chǎn), 具有堅固耐用, 操作簡單, 抽氣速度快, 數(shù)據(jù)可靠等特點. 伯東公司協(xié)助客戶選型并提供完善的售后服務.
氦質(zhì)譜檢漏儀半導體流量控制閥MFC檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 技術(shù)參數(shù)：

型號	ASM 340 W	ASM 340 D	ASM 340 I
對氦氣的最小檢測漏率	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
檢測模式	真空模式和吸槍模式	真空模式和吸槍模式	真空模式和吸槍模式
檢測氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
啟動時間 min	3	3	3
對氦氣的抽氣速度 l/s	2.5	2.5	2.5
進氣口最大壓力 hPa	25	25	5
前級泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前級泵
重量 kg	56	45	32

結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢, 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀應用案例 >>

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