氦質譜檢漏儀 PECVD 檢漏

PECVD 檢漏原因: PECVD 工作環境需要兩個必要條件: 低溫和真空, 由于 PECVD 結構復雜, 組成部分較多, 各組件通過各種法蘭接口連接, 當長時間運行時可能造成接口或管路松動, 設備漏氣, 導致真空度抽不下來, 影響沉積薄膜的質量, 這時就需要通過檢漏來排查漏點. 常規的檢漏如涂肥皂水等方法, 耗時耗力且精度低, 容易受操作人員干擾, 所以利用氦質譜檢漏儀的排查方法越來越廣泛使用.

上海伯東 PECVD 設備檢漏儀客戶案例一: 中科院某研究所, 通過采購上海伯東德國 Pfeiffer 機械泵 Pfeiffer DUO 20 和分子泵 Hipace 1200 聯用獲得穩定的高真空并追加采購檢漏儀, 滿足日常檢漏需要.
PECVD 檢漏方法: 采用檢漏儀的真空法進行檢漏, 對懷疑有漏的地方噴氦氣, 如果檢漏儀報警, 則表明此處有漏! 伯東客戶中科院某研究所目前現有多臺舊款 Adixen ASM 142 檢漏儀, 因為設備增加, 在經過工程師推薦后采購檢漏儀 ASM 340.
氦質譜檢漏儀 PECVD 檢漏

上海伯東 PECVD 設備檢漏儀客戶案例二: 某電子材料有限公司生產太陽能硅片, 高效 N型太陽能電池等, 生產設備采用荷蘭TEMPRESS PECVD, 依照工藝要求, 在1分鐘的測試時間內, 壓力變化不能超過 4mtorr, 否則就要檢漏. 氦質譜檢漏儀主要用來定位漏點, 針對進出氣管道, 焊接處, 法蘭都位置進行檢漏 ,一般漏率要求在 1.0×10-8 mbarl/s.
氦質譜檢漏儀 PECVD 檢漏

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質譜檢漏儀的技術優勢, 上海伯東普發 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產品線, 從便攜式氦質譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 氦質譜檢漏儀與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 上海伯東氦質譜檢漏儀應用案例 >>

若您需要進一步的了解 Pfeiffer 普發氦質譜檢漏儀詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐                                                臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                                         F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )              M: +886-939-653-958
qq: 2821409400 
現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
上海伯東版權所有, 翻拷必究！

上海伯東版權所有, 翻拷必究！

推薦搭配

一鍵分享

分享此頁

上海伯東版權所有, 翻拷必究！

更新 : 2026-02-02

閱讀數 : 159