上海伯東 MOCVD 設備檢漏客戶案例三: 某 LED 生產企業, 累積采購 6臺 ASM 340 用于設備檢漏
MOCVD 需要檢漏位置: 所有懷疑有漏的地方都需要進行檢漏, 主要檢漏源供給, 輸運和尾氣處理系統（例如管路接頭、管道、焊縫等位置.
根據客戶實際需要，MOCVD 檢漏基本配置：氦質譜檢漏儀 ASM 340 +干式真空泵 ACP 28 如下圖所示：
MOCVD 設備需要檢漏: 因為 MOCVD 生長使用的源是易燃, 易爆, 毒性很大的物質, 并且要生長多組分, 大面積, 薄層和超薄層異質材料. 因此在MOCVD系統的設計思想上, 必須考慮系統密封性.對于氣體的輸運系統, 管路和管道的接頭等存在泄漏可能的部位需要重點排查, 保證反應系統無泄漏是MOCVD設備組裝的關鍵之一.
上海伯東 MOCVD 設備檢漏客戶案例一: 某公司通過 MOCVD 生長出來的發光材料, 用于制備 OLED 燈, 經過伯東推薦選用移動式氦質譜檢漏儀 ASM 390 + 遙控器, 方便系統檢漏操作.
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檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 滿足半導體行業要求! |
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因為 MOCVD 的腔室都比較大, 焊接點偏多, 我們推薦客戶使用適用于遠程操作的無線遙控器, 方便用戶一個人邊噴氦氣的同時邊檢漏操作. |
上海伯東 MOCVD 設備檢漏客戶案例二: 某大型 LED 生產企業，共計采購 24臺氦質譜檢漏儀 ASM 390 用于 MOCVD 設備檢漏.
上海伯東 MOCVD 設備檢漏客戶案例三: 某 LED 生產企業, 累積采購 6臺 ASM 340 用于設備檢漏
MOCVD 需要檢漏位置: 所有懷疑有漏的地方都需要進行檢漏, 主要檢漏源供給, 輸運和尾氣處理系統（例如管路接頭、管道、焊縫等位置.
根據客戶實際需要，MOCVD 檢漏基本配置：氦質譜檢漏儀 ASM 340 +干式真空泵 ACP 28 如下圖所示：
MOCVD設備檢漏方法：采用真空模式檢漏
1. 將設備通過波紋軟管連接檢漏儀 ASM 340，確認連接完畢
2. 啟動 ASM 340, 進入待機界面; 初次啟動時間大約 3min, 以后啟動 < 1min
3. 按下開始鍵, 先通過 bypass 閥門啟動干式真空泵 ACP 28抽真空, 到達一定壓力檢漏儀 ASM 340開始工作, 同時在設備懷疑有漏的地方噴氦氣; 若有漏, 檢漏儀馬上報警, 顯示該噴射點有漏.
4. 檢測完畢, 按下檢漏儀待機鍵, 放氣, 關閉電源, 移除連接管路.
結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質譜檢漏儀的技術優勢, 上海伯東普發 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產品線, 從便攜式氦質譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 氦質譜檢漏儀與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 上海伯東氦質譜檢漏儀應用案例 >>
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