MOCVD 設(shè)備需要檢漏: 因?yàn)?MOCVD 生長(zhǎng)使用的源是易燃, 易爆, 毒性很大的物質(zhì), 并且要生長(zhǎng)多組分, 大面積, 薄層和超薄層異質(zhì)材料. 因此在MOCVD系統(tǒng)的設(shè)計(jì)思想上, 必須考慮系統(tǒng)密封性.對(duì)于氣體的輸運(yùn)系統(tǒng), 管路和管道的接頭等存在泄漏可能的部位需要重點(diǎn)排查, 保證反應(yīng)系統(tǒng)無(wú)泄漏是MOCVD設(shè)備組裝的關(guān)鍵之一.
上海伯東 MOCVD 設(shè)備檢漏客戶案例一: 某公司通過(guò) MOCVD 生長(zhǎng)出來(lái)的發(fā)光材料, 用于制備 OLED 燈, 經(jīng)過(guò)伯東推薦選用移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 + 遙控器, 方便系統(tǒng)檢漏操作.
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檢漏儀配有干式非接觸式前級(jí)真空泵和渦輪分子泵, 滿足半導(dǎo)體行業(yè)要求! |
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因?yàn)?MOCVD 的腔室都比較大, 焊接點(diǎn)偏多, 我們推薦客戶使用適用于遠(yuǎn)程操作的無(wú)線遙控器, 方便用戶一個(gè)人邊噴氦氣的同時(shí)邊檢漏操作. |
上海伯東 MOCVD 設(shè)備檢漏客戶案例二: 某大型 LED 生產(chǎn)企業(yè)，共計(jì)采購(gòu) 24臺(tái)氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 用于 MOCVD 設(shè)備檢漏.
上海伯東 MOCVD 設(shè)備檢漏客戶案例三: 某 LED 生產(chǎn)企業(yè), 累積采購(gòu) 6臺(tái) ASM 340 用于設(shè)備檢漏
MOCVD 需要檢漏位置: 所有懷疑有漏的地方都需要進(jìn)行檢漏, 主要檢漏源供給, 輸運(yùn)和尾氣處理系統(tǒng)（例如管路接頭、管道、焊縫等位置.
根據(jù)客戶實(shí)際需要，MOCVD 檢漏基本配置：氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 +干式真空泵 ACP 28 如下圖所示：
MOCVD設(shè)備檢漏方法：采用真空模式檢漏
1. 將設(shè)備通過(guò)波紋軟管連接檢漏儀 ASM 340，確認(rèn)連接完畢
2. 啟動(dòng) ASM 340, 進(jìn)入待機(jī)界面; 初次啟動(dòng)時(shí)間大約 3min, 以后啟動(dòng) < 1min
3. 按下開(kāi)始鍵, 先通過(guò) bypass 閥門(mén)啟動(dòng)干式真空泵 ACP 28抽真空, 到達(dá)一定壓力檢漏儀 ASM 340開(kāi)始工作, 同時(shí)在設(shè)備懷疑有漏的地方噴氦氣; 若有漏, 檢漏儀馬上報(bào)警, 顯示該噴射點(diǎn)有漏.
4. 檢測(cè)完畢, 按下檢漏儀待機(jī)鍵, 放氣, 關(guān)閉電源, 移除連接管路.
結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無(wú)損檢漏的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用案例 >>
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