檢漏原因: 超高真空 Ultra-high vacuum, 真空度一般 < E-7 mbar, 在超高真空的環境下可以進行材料催化, 晶體生長,粒子加速等實驗, 為保證較高的真空度, 需要對整個真空系統的焊縫, 法蘭口等懷疑有漏的地方進行泄漏檢測. 為保證實驗腔體的清潔干燥, 不能出現油氣污染等情況的發生, 因此需要選擇內部集成干泵的檢漏儀.
氦質譜檢漏儀超高真空系統檢漏

檢漏方法: 如上圖所示, 采用真空法檢漏, 檢漏儀通過波紋管與真空腔體連接, 在懷疑有漏的地方噴氦氣, 如果檢漏儀報警, 說明此處有漏.
* 鑒于信息保密, 更詳細的超高真空系統檢漏方法歡迎致電 021-5046-3511

上海伯東 Pfeiffer 便攜式檢漏儀 ASM 310 主要參數:

型號	連接法蘭	進氣口最大壓力	氦氣抽速	前級泵抽速(干泵)	噪音	重量
ASM 310	DN 25 ISO-KF	15 hPa	1.1l/S	1.7m3/h	<45db(A)	21KG

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質譜檢漏儀的技術優勢, 上海伯東普發 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產品線, 從便攜式氦質譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 氦質譜檢漏儀與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 上海伯東氦質譜檢漏儀應用案例 >>

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