生長多層膜（TiN/ALN）結(jié)構(gòu), 各層膜厚度可調(diào)
高通量制備具有不同材料成分的100種材料
PLD 制備的 Ag 的納米多孔材料
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生長多層膜（TiN/ALN）結(jié)構(gòu), 各層膜厚度可調(diào) |
高通量制備具有不同材料成分的100種材料 |
PLD 制備的 Ag 的納米多孔材料 |
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脈沖激光沉積系統(tǒng) PLD 檢漏方法
采用真空模式檢漏, 通過波紋管連接需要檢漏的腔體, 設(shè)定好需要的漏率值
在懷疑有漏的地方噴氦氣（一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處）,如果有漏,檢漏儀會出現(xiàn)聲光報警同時在屏幕上顯示當(dāng)前漏率值.
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上海伯東推薦 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 三種類型可選
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型號 |
ASM 340 WET |
ASM 340 D |
ASM 340 I |
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對氦氣的最小檢測漏率, 真空模式 |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
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檢測模式 |
真空模式和吸槍模式 |
真空模式和吸槍模式 |
真空模式和吸槍模式 |
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檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
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對氦氣的抽氣速度 l/s |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
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進氣口最大壓力 hPa |
25 |
25 |
5 |
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前級泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
隔膜泵 3.4 |
不含前級泵 |
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重量 kg |
56 |
45 |
32 |
結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢, 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用案例 >>
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上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！
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