脈沖激光沉積系統 PLD 需要檢漏原因
PLD 系統需要高真空環境, 腔室是否有泄露, 是否有內部材料放氣等因素對實現高真空及超高真空很關鍵. 因此需要對整個系統進行泄漏檢測. 氦質譜檢漏儀利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點. 因此廣泛應用于 PLD 設備檢漏.

脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏客戶案例: 上海伯東某客戶 PLD 設備用來制備各種材料, 為了保證產品質量, 采購氦質譜檢漏儀 ASM 340 搭配使用.

生長多層膜(TiN/ALN)結構, 各層膜厚度可調

高通量制備具有不同材料成分的100種材料

PLD 制備的 Ag 的納米多孔材料

氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏


脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏方法
采用真空模式檢漏, 通過波紋管連接需要檢漏的腔體, 設定好需要的漏率值
在懷疑有漏的地方噴氦氣(一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處),如果有漏,檢漏儀會出現聲光報警同時在屏幕上顯示當前漏率值.
氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

上海伯東推薦 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 340 三種類型可選

型號

ASM 340 WET

ASM 340 D

ASM 340 I

對氦氣的最小檢測漏率, 真空模式

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

檢測模式

真空模式和吸槍模式

真空模式和吸槍模式

真空模式和吸槍模式

檢測氣體

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

對氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

2.5

2.5

進氣口最大壓力 hPa

25

25

5

前級泵抽速 m3/h

油泵 15

隔膜泵 3.4

不含前級泵

重量 kg

56

45

32

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質譜檢漏儀的技術優勢, 上海伯東普發 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產品線, 從便攜式氦質譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 氦質譜檢漏儀與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 上海伯東氦質譜檢漏儀應用案例 >>

若您需要進一步的了解 Pfeiffer 普發氦質譜檢漏儀詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 葉小姐                                                臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )              M: +886-939-653-958

現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
上海伯東版權所有, 翻拷必究!

上海伯東版權所有, 翻拷必究!

推薦搭配

一鍵分享

分享此頁

上海伯東版權所有, 翻拷必究!

更新 : 2026-02-02

閱讀數 : 294