上海伯東半導體用配管配件氦質譜檢漏方法:
考慮到管路銜接長, 需要滿足客戶快速的檢漏要求, 上海伯東德國 Pfeiffer ASM 390 針對此類應用提供大漏模式: 定性泄漏檢測從 100 mbar 到 20 mbar 開始 (進入測試模式之前) 此一區間即可進行檢漏, 快速縮短檢漏時間！
氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏

檢漏配置:氦質譜檢漏儀 ASM 390,客制轉接頭和配套密封件一套,噴槍和配套氦氣瓶一套
檢漏方法:根據配管實際使用工況,采用檢漏儀真空模式進行檢漏,設置漏率值 1E-9mar l/s, 首先對焊接的單個配管進行檢漏, 配管組裝完成后, 對整個管線再次進行檢漏. 按照下圖組裝樣品, 在懷疑有漏的地方噴氦氣（一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處), 如果有漏, 檢漏儀會出現聲光報警同時在屏幕上顯示當前漏率值.

1. 將制作好的各種管件加工焊接, 然后通過波紋管連接至氦氣檢漏儀 ASM 390 進行檢漏
氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏

2. 配管組裝完成后, 對整個管線再次進行檢漏

氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏
3.測試各個管路時, 可依照客戶需求將數據記錄儲存 (并可儲存至計算機內)

結論: 經過實際測試, 無論單個管徑是 6’, 8’ 或 10’, 長度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以內達到客戶檢漏底壓需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又準確, 大大提升了工作效率!
氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏
到現場配管完成后檢漏, 所有管件組裝后, 總長度達幾十米, 與之前的檢漏時間, 工程花費時間可能趨近于一天, 但選用上海伯東 Pfeiffer ASM 390, 在整體抽校與檢漏時間上, 幾乎縮短了一倍時間！

上海伯東 Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390 技術參數

型號	ASM 390	ASM 392
檢測氣體	4He, 3He, H2
最小檢測漏率	真空模式: 1X10^-12mbar l/s 吸槍模式: 1X10^-8 mbar l/s
對氦氣的抽速	10 l/s	25 l/s, 內置2臺分子泵
前級泵抽速	35 m3/h
進氣口最大壓力	20 mbar	20 mbar
無校準的啟動時間(20°C)	2 min
進氣口	DN 40 ISO-KF
響應時間	< 1 s
Interface, 選配	RS-232, I/O, Ethernet
重量	125 kg	130 kg