上海伯東減壓器檢漏客戶案例: 某公司生產(chǎn)減壓器, 主要用于半導(dǎo)體管路中氣體減壓, 調(diào)節(jié)氣體壓力, 減壓器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S, 經(jīng)過伯東推薦, 最終選擇前級(jí)泵為干泵的移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390
氦質(zhì)譜檢漏儀減壓器檢漏

減壓器檢漏方法: 選用氦質(zhì)譜檢漏儀真空模式進(jìn)行檢漏, 減壓器直接與檢漏儀進(jìn)氣口相連, 用噴槍在懷疑有漏的地方進(jìn)行吹掃, 鑒于客戶信息保密, 更詳細(xì)的減壓器檢漏應(yīng)用案例, 歡迎撥打客服熱線: 021-5046-3511
氦質(zhì)譜檢漏儀減壓器檢漏

上海伯東德國 Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390

檢漏儀配有干式非接觸式前級(jí)真空泵和渦輪分子泵, 滿足半導(dǎo)體行業(yè)要求!
檢測氣體: 4He, 3He, H2
最小檢測漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
對(duì)氦氣的抽速: 10 l/s
前級(jí)泵抽速: 35 m3/h

結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無損檢漏的同時(shí)可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用案例 >>

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