長晶爐設備需要檢漏: 在 CVD 過程中, 將一片薄的金剛石種子 ( 通常是天然的金剛石) 放置在密封室中, 加熱到 800攝氏度左右. 然后通入富碳氣體 ( 通常是甲烷 ) 和其他氣體. 如果密封室或者氣體供應系統有漏, 直接影響原子沉積, 導致無法形成鉆石或質量不佳.
氦質譜檢漏儀 CVD 鉆石長晶爐檢漏

長晶爐設備檢漏方法: 上海伯東根據客戶生產條件, 推薦每條生產線搭配一臺干式氦質譜檢漏儀 ASM 340 D, 檢漏儀內置2臺前級泵 (低噪音, 清潔無油隔膜泵), 保證無任何油霧氣污染真空腔, 采用負壓法對 Seki 長晶爐設備真空腔和氣體供應系統進行檢漏, 經過泄漏檢測, 生產的人造鉆石可以匹配甚至超過天然鉆石的質量和特性！
1. 干式檢漏儀 ASM 340 開機, 僅需3分鐘進入工作狀態
2. 按照界面提示, 設置漏率值 1x10-8 mbal l/s
3. 開始檢漏, 在懷疑有漏的地方用噴槍噴氦氣, 比如焊縫, 管路, 閥門
4. 如果有漏, 檢漏儀時時發出聲光報警, 協助客戶定位定量漏點.

檢漏配置

pfeiffer 普發干式氦質譜檢漏儀 ASM 340D

干式氦質譜檢漏儀 ASM 340 D
吸槍模式最小漏率: 5x10-9 mbarl/s (目前業界公認最小漏律)
真空模式最小漏率: 5x10-12 mbarl/s
檢測氣體: 4He, 3He, H2
檢測模式: 真空, 吸槍
對氦氣的抽氣速度 2.5 l/s
進氣口最大壓力 25 hPa
前級泵抽速 3.4 m3/h

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質譜檢漏儀的技術優勢, 上海伯東普發 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產品線, 從便攜式氦質譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 氦質譜檢漏儀與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 上海伯東氦質譜檢漏儀應用案例 >>

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