長晶爐設(shè)備需要檢漏: 在 CVD 過程中, 將一片薄的金剛石種子 ( 通常是天然的金剛石) 放置在密封室中, 加熱到 800攝氏度左右. 然后通入富碳?xì)怏w ( 通常是甲烷 ) 和其他氣體. 如果密封室或者氣體供應(yīng)系統(tǒng)有漏, 直接影響原子沉積, 導(dǎo)致無法形成鉆石或質(zhì)量不佳.
氦質(zhì)譜檢漏儀 CVD 鉆石長晶爐檢漏

長晶爐設(shè)備檢漏方法: 上海伯東根據(jù)客戶生產(chǎn)條件, 推薦每條生產(chǎn)線搭配一臺(tái)干式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 D, 檢漏儀內(nèi)置2臺(tái)前級(jí)泵 (低噪音, 清潔無油隔膜泵), 保證無任何油霧氣污染真空腔, 采用負(fù)壓法對(duì) Seki 長晶爐設(shè)備真空腔和氣體供應(yīng)系統(tǒng)進(jìn)行檢漏, 經(jīng)過泄漏檢測, 生產(chǎn)的人造鉆石可以匹配甚至超過天然鉆石的質(zhì)量和特性！
1. 干式檢漏儀 ASM 340 開機(jī), 僅需3分鐘進(jìn)入工作狀態(tài)
2. 按照界面提示, 設(shè)置漏率值 1x10-8 mbal l/s
3. 開始檢漏, 在懷疑有漏的地方用噴槍噴氦氣, 比如焊縫, 管路, 閥門
4. 如果有漏, 檢漏儀時(shí)時(shí)發(fā)出聲光報(bào)警, 協(xié)助客戶定位定量漏點(diǎn).

檢漏配置

pfeiffer 普發(fā)干式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340D

干式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 D
吸槍模式最小漏率: 5x10-9 mbarl/s (目前業(yè)界公認(rèn)最小漏律)
真空模式最小漏率: 5x10-12 mbarl/s
檢測氣體: 4He, 3He, H2
檢測模式: 真空, 吸槍
對(duì)氦氣的抽氣速度 2.5 l/s
進(jìn)氣口最大壓力 25 hPa
前級(jí)泵抽速 3.4 m3/h

結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無損檢漏的同時(shí)可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用案例 >>

上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)真空中國代理, 若您需要進(jìn)一步的了解 Pfeiffer 普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式：
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