|
對氦氣的最小檢測漏率 |
真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸槍模式 1E-8 Pa m3/s |
|
檢測模式 |
真空模式和吸槍模式 |
|
氦質譜檢漏儀無油前級泵抽速 |
1.7 m3/h |
|
檢測氣體 |
4He , 3He, H2 |
|
響應時間 |
<1s |
|
對氦氣的抽氣速度 |
1.1 l/s |
|
氦質譜檢漏儀進氣法蘭 |
DN 25 ISO-KF |
|
進氣口最大壓力 |
15 hPa |
|
通訊接口 |
RS-232 |
|
工作溫度 |
10-40 °C |
|
噪音水平 |
< 45 dB (A) |
|
尺寸 |
350 X 245 X 141 mm |
|
重量 |
21 kg (46 lb) |
結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質譜檢漏儀的技術優勢, 上海伯東普發 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產品線, 從便攜式氦質譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 氦質譜檢漏儀與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 上海伯東氦質譜檢漏儀應用案例 >>
若您需要進一步的了解 Pfeiffer普發氦質譜檢漏儀詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958
qq: 2821409400
現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
上海伯東版權所有, 翻拷必究！
上海伯東 ASM 310 氦質譜檢漏儀 EUV 光刻機檢漏
上海伯東版權所有, 翻拷必究！
