ph-instruments 真空計(jì)主要應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造: 離子注入, 干法刻蝕, 物理 / 化學(xué)氣相沉積, 脫氣腔體 (SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)擅長氫氣氛圍監(jiān)測, 抵抗工藝薄膜沉積.)
低溫真空領(lǐng)域: 低溫儲(chǔ)罐, 液氫輸送管路, 真空絕熱系統(tǒng) (SRG 轉(zhuǎn)子規(guī)分體無源傳感器, 適配超低溫環(huán)境.)  
制藥真空凍干: Tri?Clover 衛(wèi)生法蘭可選, 支持高溫滅菌, 長期穩(wěn)定監(jiān)測.
真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng): 計(jì)量級(jí)真空規(guī), 用于對(duì)各類真空計(jì)傳感器 (包括電容薄膜規(guī), 電離規(guī), 電阻規(guī), 熱偶規(guī)等）進(jìn)行全量程, 高精度的計(jì)量檢定與校準(zhǔn).
科研高能物理, 離子束, 分子束裝置 (SRG 傳感器與電控單元遠(yuǎn)距離分離, 屏蔽輻射與等離子干擾.)

SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì),高精度的真空測量

計(jì)量級(jí)真空規(guī), 高度準(zhǔn)確和穩(wěn)定的真空測量, 不僅僅定位為傳統(tǒng)真空計(jì)的替代品, SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)更嚴(yán)格的制程控制, 減少變異性

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