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型號 |
ATH 3204 M |
ATH 3204 MT |
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進口法蘭 |
DN 320 ISO-F |
DN 320 ISO-F |
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排氣法蘭 |
DN 40 | 50 ISO-KF |
DN 40 | 50 ISO-KF |
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極限真空 |
< 1X10-8 hPa |
< 1X10-8 hPa |
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氮氣抽速 |
3050 l/s |
3050 l/s |
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氫氣抽速 |
1700 l/s |
1700 l/s |
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最大前級真空, 氮氣 |
3.4 hPa |
3 hPa |
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電壓 |
200 – 240 V AC, 50/60 Hz |
200 – 240 V AC, 50/60 Hz |
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控制器 |
集成電子驅動 |
集成電子驅動 |
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轉速 |
≥ 25000 rpm |
≥ 25000 rpm |
