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軸承 |
五軸控制全磁浮軸承 |
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轉速 |
25000 min-1 |
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對氮氣的壓縮比 |
> 1 · 10 8 |
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最大進氣壓力N2 |
2.1 hPa |
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對氮氣的抽速 |
2350 l/s |
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啟動時間 |
< 10 min |
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極限真空度 |
< 6X10-9 hPa |
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重量 |
85(分子泵) + 8(分子泵電源控制器) kg |
