型號

HiPace® 60 P,TC 110, DN 63 ISO-K

HiPace® 60 P,TC 110 RS,DN 63 ISO-K

 復合軸承

陶瓷球軸承

 Ar 壓縮比

2 X10⁶

 H₂ 壓縮比

2 X10²

 He 壓縮比

3.5 X10³

 N₂  壓縮比

 1 X10⁶

 標準冷卻

對流

 可選冷卻

風冷, 水冷

 冷卻水消耗

75 l/h

 冷卻水溫度

5-25 °C

 電子驅動

TC 110

TC 110 RS

 進氣法蘭

DN 63 ISO-K

 排氣法蘭

DN 16 ISO-KF, G ¼"

 最大預抽真空, N₂

4 hPa

 全轉速時氣體流量, Ar

0.83 hPa l/s

 全轉速時氣體流量, H₂

55 hPa l/s

 全轉速時氣體流量, H_e

55 hPa l/s

 全轉速時氣體流量, N₂

9.2 hPa l/s

 通訊接口

RS-485, Remote

 安裝方式

任意位置安裝

 操作電壓

24 (± 5 %) V DC

 允許最大磁場

4 mT

 保護類型

IP 54

 抽速 Ar

63 l/s

 抽速 H₂

28 l/s

 抽速 H_e

48 l/s

 抽速 N₂

64 l/s

 轉速 ± 2 %

90,000 rpm

 啟動時間

1.1 min

1 min

 極限真空

< 1X10^-6 hPa

 放氣接口

G 1/8"

 重量

2.2 kg

2.3 kg

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