集成氮?dú)獯祾唛y, 耐粉塵, 特別適合工業(yè)環(huán)境
無 Holweck-stage, 通過保護(hù)等級 IP54.
任意方向安裝

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渦輪分子泵 HiPace 60P 氮?dú)獬樗? 64 l/s

簡介

Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 60P 氮?dú)獬樗倏蛇_(dá)到 64 l/s
集成氮?dú)獯祾唛y, 耐粉塵, 特別適合工業(yè)環(huán)境
無 Holweck-stage, 通過保護(hù)等級 IP54.
任意方向安裝

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技術(shù)規(guī)格

上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)中國代理. 銷售維修德國普發(fā)渦輪分子泵 Pfeiffer  HiPace 60P 抽速可達(dá)到 64 l/s. 分子泵 HiPace 60P 集成氮?dú)獯祾唛y, 耐粉塵, 特別適合工業(yè)環(huán)境, 無 Holweck-stage, 通過保護(hù)等級 IP54. 集成控制器 TC 110 保證分子泵的安全性.渦輪分子泵 HiPace 60P 可以安裝在任何方向, 自然水冷或風(fēng)冷. 

分子泵 HiPace 60P 技術(shù)參數(shù):

 型號

HiPace® 60 P,TC 110, DN 63 ISO-K

HiPace® 60 P,TC 110 RS,DN 63 ISO-K

 復(fù)合軸承

陶瓷球軸承

 Ar 壓縮比

2 X106

 H2 壓縮比

2 X102

 He 壓縮比

3.5 X103

 N2  壓縮比

 1 X106

 標(biāo)準(zhǔn)冷卻

對流

 可選冷卻

風(fēng)冷, 水冷

 冷卻水消耗

75 l/h

 冷卻水溫度

5-25 °C

 電子驅(qū)動

TC 110

TC 110 RS

 進(jìn)氣法蘭

DN 63 ISO-K

 排氣法蘭

DN 16 ISO-KF, G ¼"

 最大預(yù)抽真空, N2

4 hPa

 全轉(zhuǎn)速時氣體流量, Ar

0.83 hPa l/s

 全轉(zhuǎn)速時氣體流量, H2

55 hPa l/s

 全轉(zhuǎn)速時氣體流量, He

55 hPa l/s

 全轉(zhuǎn)速時氣體流量, N2

9.2 hPa l/s

 通訊接口

RS-485, Remote

 安裝方式

任意位置安裝

 操作電壓

24 (± 5 %) V DC

 允許最大磁場

4 mT

 保護(hù)類型

IP 54

 抽速 Ar

63 l/s

 抽速 H2

28 l/s

 抽速 He

48 l/s

 抽速 N2

64 l/s

 轉(zhuǎn)速 ± 2 %

90,000 rpm

 啟動時間

1.1 min

1 min

 極限真空

< 1X10-6 hPa

 放氣接口

G 1/8"

 重量

2.2 kg

2.3 kg

Pfeiffer 普發(fā)分子泵應(yīng)用 HiPace 60P: 專為抽氣環(huán)境含小顆粒懸浮物設(shè)計研發(fā), 耐粉塵設(shè)計, 廣泛應(yīng)用于鍍膜和工業(yè)領(lǐng)域.
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD
研發(fā): 納米技術(shù), 生物技術(shù)
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 隔離真空, 燈管制造