上海伯東代理 Pfeiffer 普發全磁浮分子泵 ATH 1603 M, 氮氣抽速可達 1250 l/s, 采用 OBC V4 集成驅動電子設備運行, 任意方向安裝. Pfeiffer 全磁浮分子泵 ATH 1603 M 符合 CE 標志和 ROHS 標準要求. 上海伯東 Pfeiffer 普發中國代理.
Pfeiffer 普發全磁浮分子泵 ATH 1603 M 技術參數
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技術參數 |
ATH 1603 M |
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氫氣抽速 |
540 l/s |
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氦氣抽速 |
940 - 970 l/s |
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氬氣抽速 |
1280 - 1350 l/s |
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氮氣抽速 |
1360 - 1400 l/s |
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氫氣壓縮比（ISO 5302） |
5X10² l/s |
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氦氣壓縮比（ISO 5302） |
4X10³ l/s |
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氬氣壓縮比（ISO 5302） |
> 1X 10? l/s |
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氮氣壓縮比（ISO 5302） |
> 1X10? l/s |
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極限壓力 |
< 6X10?? mbar |
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最大前級真空（氫氣） |
0.3 mbar |
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最大前級真空（氦氣） |
1.2 mbar |
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最大前級真空（氬氣） |
2.5 mbar |
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最大前級真空（氮氣） |
1.7 mbar |
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最大進氣真空（氫氣） |
> 0.6 mbar |
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最大進氣真空（氦氣） |
> 0.6 mbar |
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最大進氣真空（氬氣） |
0.026 mbar |
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最大進氣真空（氮氣） |
0.6 mbar |
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最終轉速下的氫氣氣體流量 |
> 4000 sccm |
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最終轉速下的氦氣氣體流量 |
> 4000 sccm |
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最終轉速下的氬氣氣體流量 |
1200 sccm |
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最終轉速下的氮氣氣體流量 |
4000 sccm |
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建議吹掃流量 |
50 sccm |
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轉速 |
39000 rpm |
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可調轉速 |
15000 rmp 至標稱轉速 |
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從開始啟動到達到最終轉速的 90% 所需要的時間，排放壓力 < 0.1 mbar |
< 6 最小 |
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調節器電源 |
200-240 V，50/60 Hz 單相 |
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啟動時的最大功耗 |
650 W |
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額定功率（待機功率） |
200 W |
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最大電流消耗 |
- A |
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最高加熱溫度 |
- °C |
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最高烘烤溫度 |
120 °C |
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推薦冷卻水流量 |
60 l/h |
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冷卻水溫度 |
15 - 40 °C |
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遙控器類型 |
Magpower |
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推薦前級泵 |
ADP/ADS |
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聲壓級（ISO 2151）（在額定轉速下，距離設備 1 米處測量） |
< 48 dB(A) |
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額定轉速下的振動水平 |
< 0.01 μm |
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尺寸（W） |
- mm |
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尺寸（Ø x H） |
- x 317.2-327.5* mm |
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尺寸（Ø） |
305 mm |
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重量（約） |
34 kg |
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調節器重量（約） |
8.7 kg |
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進氣口 |
DN 200、DN 250 |
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排氣口 |
DN 40 ISO-KF |
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N? 吹掃法蘭 |
DN 16 ISO-KF |
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不銹鋼進氣濾網（出廠設定） |
是 |
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允許的磁場強度（徑向值）（在距離設備 10 厘米處） |
< 12 mT |
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機載控制器控制選項 |
Profibus，遠程 |
