上海伯東 Hakuto 自研在線質(zhì)譜分析儀是一種現(xiàn)代, 緊湊, 高性能的氣體分析儀, 接受客戶定制, 提供更靈活的氣體分析解決方案. 上海伯東自研在線質(zhì)譜分析儀專為苛刻的工業(yè)和研究應(yīng)用而設(shè)計, 提供高定量準確性和實時氣體分析性能
Hakuto 自研在線質(zhì)譜分析儀特性
高分析精度與生產(chǎn)就緒的可靠性相結(jié)合
智能軟件: 集成軟件的直觀控制, 數(shù)據(jù)采集和量化, 支持先進的數(shù)據(jù)分析
廣泛的應(yīng)用范圍: 理想的氣體純度分析, 真空監(jiān)測, 泄漏檢測和實時過程控制領(lǐng)域, 如氣體雜質(zhì)分析, 光催化, 熱催化, 半導(dǎo)體制造先進材料加工.
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型號 |
Hakuto Genius 在線質(zhì)譜分析儀 |
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分析技術(shù) |
四極桿質(zhì)譜 QMS |
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質(zhì)量數(shù) |
1 - 100 / 200 / 300 amu |
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分析器類型 |
四極質(zhì)量過濾器 |
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離子發(fā)生器 |
電子撞擊電離器 |
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探測器 |
法拉第 /二次電子倍增器（SEM） |
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真空系統(tǒng) |
內(nèi)部集成緊湊設(shè)計的渦輪分子泵 |
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取樣壓力范圍 |
1E-5 torr 至 30 psi |
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通信協(xié)議 |
EtherCAT, Modbus, RS232 / RS432 |
Hakuto 自研在線質(zhì)譜分析儀應(yīng)用場景
光催化 / 熱催化
石油裂解 / 煤氣分析
燃燒室管理: 燃燒室指紋識別和匹配
ALD, ALE, 干泵管理, EUV 鏡像管理
泄漏檢測
氣體輸送監(jiān)測（純度和雜質(zhì)）
新能源電池
上海伯東提供可定制版本的質(zhì)譜分析儀, 例如: 壓力控制進氣, 特殊進氣系統(tǒng), 特殊外殼設(shè)計等, 滿足不同應(yīng)用.
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