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腔室 |
材料: 鋁 |
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真空度測(cè)量 |
1個(gè)皮拉尼真空計(jì) |
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真空泵 |
旋片泵, 抽速 21 立方米每小時(shí) |
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頻射發(fā)生器 |
根據(jù)客戶應(yīng)用需求定制 |
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控制系統(tǒng) |
PLC 可實(shí)現(xiàn)下列功能 |
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電源 |
380V AC, 三相, 50Hz |
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反應(yīng)氣體 |
一個(gè)氣體輸入端口, 含氣體流量控制器(MFC) |
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氣體輸入 |
直徑1/4英寸(6.45mm) 管道, 輸入壓力:1Bar |
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尾氣排放 |
直徑 28mm 輸出端口 |
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性能 |
急停開關(guān); 真空泵保護(hù)鎖; 高溫保護(hù)鎖; CE認(rèn)證. |
等離子表面活化處理設(shè)備設(shè)計(jì):
控制系統(tǒng): 工業(yè) PLC 與17英寸觸摸屏
過程與儀表圖(P&ID): 實(shí)時(shí)顯示設(shè)備狀態(tài)
用戶管理: 基于用戶級(jí)別的登錄, 對(duì)于操作員來說, 工程師模式接入
配方管理: 配方數(shù)量不限, 工藝參數(shù)獨(dú)特
系統(tǒng)診斷功能: 用于故障處理和維護(hù)
報(bào)警管理: 系統(tǒng)對(duì)警報(bào)進(jìn)行管理并提醒操作人員
發(fā)電機(jī): 具有自動(dòng)負(fù)載匹配能力, 頻率視大小而定
真空測(cè)量: 高質(zhì)量的真空測(cè)量設(shè)備
氣體管道: 多個(gè)氣體管道, 適用于各種工藝氣體 (O2, N2, Ar, CF4, He, H2 等)
氣體截止閥: 每條氣體管路上的截止閥, 防止泄漏
質(zhì)量流量控制器: 用于氣體控制的電子調(diào)節(jié)質(zhì)量流量控制器
CE 認(rèn)證
上海伯東 Europlasma 等離子表面處理設(shè)備主要應(yīng)用:
1. 薄膜過濾: 鋰電池行業(yè), 精密儀器等的疏水, 疏油涂層, 駐電極
2. 無紡布和功能性紡織物: 運(yùn)動(dòng)戶外產(chǎn)品的疏水, 疏油涂層
3. 可穿戴電子產(chǎn)品, 無線耳機(jī), 手環(huán), 手表, 助聽器和 PCB 元器件的疏水涂層, 電子屏蔽涂層, 蝕刻, 清洗與活化
4. 醫(yī)療, 生命科學(xué)領(lǐng)域的微流控芯片疏水涂層, 醫(yī)用導(dǎo)管, 口罩, 針座活化, 人體植入, 細(xì)胞培養(yǎng)瓶活化. TC 處理.