上海伯東代理 Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA DS 0700–2000 G, 抽速 500 m³/h 至 1365 m³/h, 采用干式和非接觸式工作原理, 高抽氫速率, 適用于光伏電池, 平板顯示器, 半導體生產等高要求工藝以及眾多工業鍍膜應用.
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA DS 特點:
適用于高要求工藝的新一代干式真空泵
先進的螺桿設計
采用干式和非接觸式工作原理
出色的粉末處理能力
高效的間接水冷
緊湊的就地安裝設計
高抽氫速率
高效率電機
尺寸豐富并配備集成羅茨泵
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA DS 0700–2000 G 規格:
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技術參數 |
COBRA DS 0700 G |
COBRA DS 1000 G |
COBRA DS 2000 G |
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額定抽速 |
500 m³/h |
775 m³/h |
1365 m³/h |
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極限壓力 |
0.003 hPa (mbar) |
0.003 hPa (mbar) |
0.003 hPa (mbar) |
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前級泵電機額定功率 |
4.0 kW |
4.0 kW |
5.5 kW |
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羅茨真空泵電機額定功率 |
4.0 kW |
4.0 kW |
5.5 kW |
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功耗（怠速模式） |
3.0 kW |
3.3 kW |
5.6 kW |
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極限壓力時的功耗 |
3.0 kW |
3.3 kW |
5.6 kW |
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前級泵電機額定轉速 |
3000 min?¹ |
3000 min?¹ |
3000 min?¹ |
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羅茨真空泵電機額定轉速 |
3000 min?¹ |
3000 min?¹ |
3000 min?¹ |
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聲壓級（ISO 2151），KpA = 3 dB |
< 62 dB(A) |
< 62 dB(A) |
< 68 dB(A) |
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耗水量 |
5.0 l/min |
5.0 l/min |
5.0 l/min |
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氮氣消耗量 |
0 – 75 l/min |
0 – 75 l/min |
0 – 75 l/min |
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重量（約） |
445 kg |
576 kg |
668 kg |
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尺寸（L x W x H） |
865 x 385 x 917 mm |
1034 x 425 x 1017 mm |
1063 x 465 x 1069 mm |
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進氣口 |
DN 63 |
DN 100 |
DN 160 |
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排氣口 |
DN 40 |
DN 40 |
DN 40 |
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA DS 0700–2000 G 應用:
沼氣處理: 升級 - 變壓吸附
平板顯示器生產: 等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD); Load lock 腔體;有機發光二極管 (OLED); 物理氣相沉積（PVD）
鋰離子電池生產: 脫氣
半導體生產: 中型, 嚴苛, 輕型
太陽能發電行業: 等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)
不同行業和應用有不同的真空需求, 上海伯東是一家不僅銷售各類高端精密儀器設備的公司, 更是針對不同的客戶提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發新項目應用的公司!
