上海伯東代理 Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G, 抽速 550至 1200 m³/h, 極限壓力 0.003 hPa, 適用于輕型到中型半導(dǎo)體應(yīng)用, 冷原子層沉積工藝, load lock 腔和傳送腔, 計(jì)量, 平版印刷術(shù), 物理氣相沉積, 快速熱退火以及和蝕刻工藝（如氧化物、硅和金屬）等等
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G 特點(diǎn)
性能出色: 先進(jìn)的螺桿設(shè)計(jì), 鐘形懸臂結(jié)構(gòu), 自平衡螺桿, 出色的運(yùn)行品質(zhì), 集成羅茨泵, 非常適用于冷原子層沉積工藝, load lock 腔和傳送腔, 計(jì)量, 平版印刷術(shù), 物理氣相沉積, 快速熱退火以及和蝕刻工藝（如氧化物、硅和金屬）等等
高效: 擁有成本低, 維護(hù)少, 保養(yǎng)間隔長(zhǎng), 正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng), 直接水冷卻
結(jié)構(gòu)緊湊: 密閉式設(shè)計(jì), 直聯(lián)的罐裝電機(jī), 前級(jí)泵和羅茨泵組合安裝于底座上
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G 規(guī)格
|
技術(shù)參數(shù) |
COBRA BC 0601 G |
COBRA BC 1001 G |
COBRA BC 1200 A |
|
額定抽速 |
550 m³/h |
870 m³/h |
1200 m³/h |
|
極限壓力 |
0.003 hPa (mbar) |
0.003 hPa (mbar) |
0.003 hPa (mbar) |
|
前級(jí)泵電機(jī)額定功率 |
1.5 kW |
1.5 kW |
1.5 kW |
|
羅茨真空泵電機(jī)額定功率 |
1.5 kW |
2.9 kW |
4.0 kW |
|
功耗（怠速模式） |
1.7 kW |
1.2 kW |
1.3 kW |
|
極限壓力時(shí)的功耗 |
1.7 kW |
1.7 kW |
1.9 kW |
|
前級(jí)泵電機(jī)額定轉(zhuǎn)速 |
3000 min?¹ |
3000 min?¹ |
3000 min?¹ |
|
羅茨真空泵電機(jī)額定轉(zhuǎn)速 |
3000 min?¹ |
5400 min?¹ |
5400 min?¹ |
|
噪聲級(jí)（ISO 2151） |
62 dB(A) |
62 dB(A) |
62 dB(A) |
|
耗水量 |
min. 3,0 – 4,0 l/min |
min. 3,0 – 4,0 l/min |
min. 4,0 – 5,0 l/min |
|
氮?dú)庀牧?/p> |
0 – 70 l/min |
0 – 70 l/min |
0 – 70 l/min |
|
重量（約） |
315 kg |
310 kg |
360 kg |
|
尺寸（L x W x H） |
905 x 354 x 660 mm |
1054 x 425 x 615 mm |
1054 x 425 x 615 mm |
|
進(jìn)氣口 |
DN 63 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
DN 160 ISO-K |
|
排氣口 |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G 應(yīng)用
沼氣處理: 升級(jí) - 變壓吸附
半導(dǎo)體生產(chǎn): 中型
太陽(yáng)能發(fā)電行業(yè): 物理氣相沉積 PVD
不同行業(yè)和應(yīng)用有不同的真空需求, 上海伯東是一家不僅銷售各類高端精密儀器設(shè)備的公司, 更是針對(duì)不同的客戶提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發(fā)新項(xiàng)目應(yīng)用的公司!
