上海伯東代理 Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G, 抽速 550至 1200 m³/h, 極限壓力 0.003 hPa, 適用于輕型到中型半導體應用, 冷原子層沉積工藝, load lock 腔和傳送腔, 計量, 平版印刷術, 物理氣相沉積, 快速熱退火以及和蝕刻工藝（如氧化物、硅和金屬）等等
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G 特點
性能出色: 先進的螺桿設計, 鐘形懸臂結構, 自平衡螺桿, 出色的運行品質, 集成羅茨泵, 非常適用于冷原子層沉積工藝, load lock 腔和傳送腔, 計量, 平版印刷術, 物理氣相沉積, 快速熱退火以及和蝕刻工藝（如氧化物、硅和金屬）等等
高效: 擁有成本低, 維護少, 保養間隔長, 正常運行時間長, 直接水冷卻
結構緊湊: 密閉式設計, 直聯的罐裝電機, 前級泵和羅茨泵組合安裝于底座上
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G 規格
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技術參數 |
COBRA BC 0601 G |
COBRA BC 1001 G |
COBRA BC 1200 A |
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額定抽速 |
550 m³/h |
870 m³/h |
1200 m³/h |
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極限壓力 |
0.003 hPa (mbar) |
0.003 hPa (mbar) |
0.003 hPa (mbar) |
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前級泵電機額定功率 |
1.5 kW |
1.5 kW |
1.5 kW |
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羅茨真空泵電機額定功率 |
1.5 kW |
2.9 kW |
4.0 kW |
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功耗（怠速模式） |
1.7 kW |
1.2 kW |
1.3 kW |
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極限壓力時的功耗 |
1.7 kW |
1.7 kW |
1.9 kW |
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前級泵電機額定轉速 |
3000 min?¹ |
3000 min?¹ |
3000 min?¹ |
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羅茨真空泵電機額定轉速 |
3000 min?¹ |
5400 min?¹ |
5400 min?¹ |
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噪聲級（ISO 2151） |
62 dB(A) |
62 dB(A) |
62 dB(A) |
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耗水量 |
min. 3,0 – 4,0 l/min |
min. 3,0 – 4,0 l/min |
min. 4,0 – 5,0 l/min |
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氮氣消耗量 |
0 – 70 l/min |
0 – 70 l/min |
0 – 70 l/min |
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重量（約） |
315 kg |
310 kg |
360 kg |
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尺寸（L x W x H） |
905 x 354 x 660 mm |
1054 x 425 x 615 mm |
1054 x 425 x 615 mm |
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進氣口 |
DN 63 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
DN 160 ISO-K |
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排氣口 |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0601–1200 A/G 應用
沼氣處理: 升級 - 變壓吸附
半導體生產: 中型
太陽能發電行業: 物理氣相沉積 PVD
不同行業和應用有不同的真空需求, 上海伯東是一家不僅銷售各類高端精密儀器設備的公司, 更是針對不同的客戶提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發新項目應用的公司!
