上海伯東代理 Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G, 抽速 100 m³/h, 極限壓力 0.01 hPa, 適用于輕型到中型半導體應用, load lock 腔和傳送腔, 計量, 平版印刷術, 物理氣相沉積以及快速熱退火等
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G 特點
性能出色: 先進的螺桿設計, 鐘形懸臂結(jié)構, 榮獲專利的自平衡螺桿, 出色的運行品質(zhì), 非常適用于 load lock 腔和傳送腔, 計量, 平版印刷術, 物理氣相沉積以及快速熱退火等應用
高效: 智能變速驅(qū)動裝置, 擁有成本低, 維護少, 正常運行時間長, 直接水冷卻
結(jié)構緊湊: 密閉式設計, 直聯(lián)的罐裝電機, 集成控制面板
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G 規(guī)格
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技術參數(shù) |
COBRA BC 0101 G |
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額定抽速 |
100 m³/h |
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極限壓力 |
0.01 hPa (mbar) |
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電機額定功率 |
1.8 kW |
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極限壓力時的功耗 |
1.1 kW |
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電機額定轉(zhuǎn)速 |
3600 min?¹ |
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噪聲級（ISO 2151） |
58 dB(A) |
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耗水量 |
1.0 l/min |
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重量（約） |
115 kg |
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尺寸（L x W x H） |
520 x 300 x 340 mm |
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進氣口 |
DN 50 KF |
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排氣口 |
DN 40 KF |
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G 應用
沼氣處理: 升級 - 變壓吸附
輕型半導體生產(chǎn)
不同行業(yè)和應用有不同的真空需求, 上海伯東是一家不僅銷售各類高端精密儀器設備的公司, 更是針對不同的客戶提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發(fā)新項目應用的公司!
