上海伯東代理 Polycold® MaxCool 2000 冷凍機(jī)是一種閉環(huán)低溫制冷系統(tǒng), 可提供高達(dá) 2,000 瓦的冷卻功率. 通過將水蒸氣凍結(jié)在低溫盤管或 V 形擋板等冷盤上來(lái)快速吸附占真空腔內(nèi)殘留氣體 65% 到 95% 的水汽. MaxCool 2000 冷凍機(jī)還適用于將物體冷卻至低溫, 例如半導(dǎo)體晶圓加工中使用的靜電吸盤.使用 MaxCool 冷凍機(jī)可以顯著減少抽氣時(shí)間并提高產(chǎn)品產(chǎn)量.
Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵優(yōu)點(diǎn):
1. 真空抽氣時(shí)間縮短 75%
2. 高效的抽水汽效率: 10,000 至 164,000 l/s
3. 產(chǎn)品產(chǎn)量提高 20% 到 100%
4. 在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力, 從而獲得更高質(zhì)量, 更好的附著力, 和多重沉積膜特性
5. 相對(duì)于液氮制冷 LN2, Polycold 冷凍機(jī)選用無(wú)毒, 環(huán)保型冷媒, 可循環(huán)使用
6. 通過電源管理最大限度地降低成本
7. 適用于各種工藝的高容量冷卻和加熱
8. 低溫冷凝真空系統(tǒng)中的水蒸氣, 抽速可達(dá) 164,000 l/s，真空度可達(dá) 3 x 10-9 torr（4 x 10-9 mbar）
Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵主要技術(shù)參數(shù):
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標(biāo)準(zhǔn)性能 |
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最大負(fù)載: Watts |
2000 |
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抽水汽效率(理論值)：l/s |
163,900 |
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啟動(dòng)壓力：atm |
1 |
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除霜時(shí)間：分鐘 |
4 |
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低溫盤管, 連接管路 |
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盤管表面面積：m2 |
1.1 |
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單管路： |
16 |
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雙管路： |
12 |
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標(biāo)準(zhǔn)外部連接管長(zhǎng)度：m |
2.4 |
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配套設(shè)施 |
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冷卻水流量：rate l/min. |
6.8 |
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功率 kW |
5.5 |
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占地空間(最小)：m3 |
25 |
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工作噪音(最大)：db |
72 |
Polycold 冷凍機(jī)應(yīng)用:
上海伯東 Polycold 冷凍機(jī)利用新型無(wú)毒環(huán)保型冷媒, 可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法. 與傳統(tǒng) LN2 冷卻法對(duì)比,冷媒可循環(huán)使用, 大大降低了企業(yè)成本. Polycold 冷凍機(jī)主要應(yīng)用于真空鍍膜(濺鍍、蒸鍍)、半導(dǎo)體(晶圓加工)行業(yè).
