高真空抽氣時(shí)間縮短 75%
在真空度 10-9 mabr 依然保證穩(wěn)定的水汽吸附能力:
產(chǎn)品產(chǎn)量提高 20% 到 100%
在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力,從而獲得更高質(zhì)量、更好的附著力、和多重沉積膜特性
相對于液氮制冷 LN2,Polycold 冷凍機(jī)選用無毒、環(huán)保型冷媒,可循環(huán)使用
低功率,低能耗,最大負(fù)載 2500 W

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Polycold MaxCool 2500 L 水汽深冷泵 / 冷凍機(jī)

簡介

溫度:-120 至 -145 C
高真空抽氣時(shí)間縮短 75%
在真空度 10-9 mabr 依然保證穩(wěn)定的水汽吸附能力:
產(chǎn)品產(chǎn)量提高 20% 到 100%
在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力,從而獲得更高質(zhì)量、更好的附著力、和多重沉積膜特性
相對于液氮制冷 LN2,Polycold 冷凍機(jī)選用無毒、環(huán)保型冷媒,可循環(huán)使用
低功率,低能耗,最大負(fù)載 2500 W

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技術(shù)規(guī)格

上海伯東代理 Edwards 旗下 Polycold MaxCool 2500 L 冷凍機(jī),最大負(fù)載 2500 W,水汽深冷泵利用低溫冷媒(-120度)通過盤管,將水氣吸附在冷盤上,快速吸附占真空腔內(nèi)殘留氣體 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 2500 L 冷凍機(jī)抽水氣效率高達(dá) 140,000 l/s,在真空度 10-9 mabr 依然保證穩(wěn)定吸附水氣能力,特別適合半導(dǎo)體行業(yè), MaxCool 2500 L 深冷泵提供單管路和雙管路配置滿足您的不同應(yīng)用,可搭配伯東德國 Pfeiffer 分子泵,羅茨泵,干泵和美國 KRI 考夫曼離子源共同使用。冷凍機(jī) Polycold  MaxCool 2500 L 是舊款型號 PFC-1102 LT 全新升級款!~

Polycold 冷凍機(jī)應(yīng)用:
Polycold 冷凍機(jī)利用新型無毒環(huán)保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法。與傳統(tǒng) LN2 冷卻法對比,冷媒可循環(huán)使用,大大降低了企業(yè)成本。Polycold 冷凍機(jī)主要應(yīng)用于真空鍍膜(濺鍍、蒸鍍)、半導(dǎo)體(晶圓加工)行業(yè)。


Polycold MaxCool 2500 L 水汽深冷泵優(yōu)點(diǎn):
溫度:-120 至 -145 C
高真空抽氣時(shí)間縮短 75%
在真空度 10-9 mabr 依然保證穩(wěn)定的水汽吸附能力:
產(chǎn)品產(chǎn)量提高 20% 到 100%
在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力,從而獲得更高質(zhì)量、更好的附著力、和多重沉積膜特性
相對于液氮制冷 LN2,Polycold 冷凍機(jī)選用無毒、環(huán)保型冷媒,可循環(huán)使用
低功率,低能耗,最大負(fù)載 2500 W


Polycold MaxCool 2500 L與 4000 H 水汽深冷泵技術(shù)參數(shù)對比:

 

型號

MaxCool 2500 L

MaxCool 4000 H

最大負(fù)載:Watts

2,500

4,000

最大抽速(理論值):l/s

208,600

327,800

抽水汽效率(實(shí)際值):l/s

140,000

220,000

極限真空:mbar

1 x 10-9

7 x 10-8

最大啟動壓力:atm

1

1

除霜時(shí)間:分鐘

4.0

5.5

低溫盤管、外部連接管

 

盤管表面面積:m2

1.4

2.2

單管路:
盤管直徑:mm
盤管長度:m


16
27.9


16
43

雙管路:
低溫管直徑:mm
低溫管長度:m


12
18.6


16
21.9

外部標(biāo)準(zhǔn)冷凝管長度:m

2.44

2.44

冷卻水流量:rate l/min.
13C?
26C?
29C?


13.6
27.3
54.1

工作噪音(最大):db

68

78

占地空間(最小):m3

40

34

重量:kg

544

533

 

Edwards  旗下 Polycold  冷凍機(jī)(水汽深冷泵),超過40年的冷凍機(jī)研發(fā)及制造經(jīng)驗(yàn)。Polycold 冷凍機(jī)輔助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內(nèi)殘余水汽和油氣,幫助企業(yè)顯著提升產(chǎn)能和鍍膜質(zhì)量。Polycold 冷凍機(jī)廣泛應(yīng)用于鍍膜和半導(dǎo)體廠商。上海伯東是美國 Polycold 冷凍機(jī)代理,全權(quán)負(fù)責(zé) Polycold 銷售.

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