上海伯東代理美國(guó) Edwards 旗下 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷凍機(jī)，利用低溫冷媒(-100度)通過(guò)盤(pán)管，將水蒸氣吸附在冷盤(pán)上，快速吸附占真空腔內(nèi)殘留氣體 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 4000 H 冷凍機(jī)抽水氣效率高達(dá) 220,000 l/s，在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內(nèi)殘余水汽和油氣，目前 Polycold 冷凍機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和真空鍍膜行業(yè)，客戶通過(guò)使用 Polycold 水汽深冷泵，產(chǎn)能可增加 20% 到 100%。MaxCool 4000 H 深冷泵提供單管路和雙管路配置滿足您的不同應(yīng)用，可搭配伯東德國(guó) Pfeiffer 分子泵，羅茨泵，干泵和美國(guó) KRI 考夫曼離子源共同使用。冷凍機(jī) Polycold MaxCool 4000 H 是舊款型號(hào) PFC-1102 HC全新升級(jí)款！~
Polycold冷凍機(jī)應(yīng)用：Polycold 冷凍機(jī)利用新型無(wú)毒環(huán)保型冷媒，可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法。與傳統(tǒng) LN2 冷卻法對(duì)比，冷媒可循環(huán)使用，大大降低了企業(yè)成本。Polycold 冷凍機(jī)主要應(yīng)用于真空鍍膜(濺鍍、蒸鍍)、半導(dǎo)體(晶圓加工)行業(yè)。
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵優(yōu)點(diǎn)：
低溫范圍：-98 至 -133C
真空抽氣時(shí)間縮短 75%
高效的抽水汽效率：327,800 到 220,000 l/s
產(chǎn)品產(chǎn)量提高 20% 到 100%
在工藝過(guò)程中降低水蒸汽的分壓力，從而獲得更高質(zhì)量、更好的附著力、和多重沉積膜特性
相對(duì)于液氮制冷 LN2，Polycold 冷凍機(jī)選用無(wú)毒、環(huán)保型冷媒，可循環(huán)使用
低功率，低能耗，最大負(fù)載 4000 W
Polycold MaxCool 冷凍機(jī)組成：
A：Polycold 冷凍機(jī)主機(jī)（銅環(huán)和輪子可以選配，方便運(yùn)輸）
B：外部冷凝管(外部連接管)
C：Feedthrough
D：真空腔
E：冷盤(pán)(低溫盤(pán)管)
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技術(shù)參數(shù)：
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標(biāo)準(zhǔn)性能 |
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最大負(fù)載：Watts |
4000 |
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抽水汽效率(理論值)：l/s |
327,800 |
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保守抽速：l/s |
220,000 |
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極限真空：mbar |
7 x 10-8 |
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啟動(dòng)壓力：atm |
1 |
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除霜時(shí)間：分鐘 |
5.5 |
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低溫盤(pán)管,連接管路 |
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盤(pán)管表面面積：m2 |
2.2 |
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單管路： |
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雙管路： |
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標(biāo)準(zhǔn)外部連接管長(zhǎng)度：m |
2.44 |
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配套設(shè)施 |
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冷卻水流量：rate l/min. 29 C? |
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功率 kW |
19.2 |
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工作噪音(最大)：db |
78 |
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占地空間(最小)：m3 |
34 |
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重量：kg |
533 |
Edwards 旗下 Polycold 冷凍機(jī)(水汽深冷泵)，超過(guò)40年的冷凍機(jī)研發(fā)及制造經(jīng)驗(yàn)。Polycold 冷凍機(jī)輔助抽真空，在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內(nèi)殘余水汽和油氣，幫助企業(yè)顯著提升產(chǎn)能和鍍膜質(zhì)量。Polycold 冷凍機(jī)廣泛應(yīng)用于鍍膜和半導(dǎo)體廠商。上海伯東是美國(guó) Polycold 冷凍機(jī)代理，全權(quán)負(fù)責(zé) Polycold 銷售服務(wù).
