既可常規(guī)高通量測試,又可微區(qū)高性能測試
易操作式多功能選配附件
全自動(dòng)樣品傳送停放
高性能大面積和微區(qū) XPS 分析
快速精準(zhǔn)深度剖析: 上海伯東 PHI GENESIS 500 可實(shí)現(xiàn)高性能的深度剖析. 聚焦 X 射線源, 高靈敏度探測器, 高性能氬離子槍和高效雙束中和系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)深度剖析, 包括在同一個(gè)濺射刻蝕坑內(nèi)進(jìn)行多點(diǎn)同時(shí)分析

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光電子能譜儀 PHI GENESIS 500

簡介

為電池, 半導(dǎo)體, 有機(jī)器件以及其他各領(lǐng)域提供全面解決方案
既可常規(guī)高通量測試,又可微區(qū)高性能測試
易操作式多功能選配附件
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高性能大面積和微區(qū) XPS 分析
快速精準(zhǔn)深度剖析: 上海伯東 PHI GENESIS 500 可實(shí)現(xiàn)高性能的深度剖析. 聚焦 X 射線源, 高靈敏度探測器, 高性能氬離子槍和高效雙束中和系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)深度剖析, 包括在同一個(gè)濺射刻蝕坑內(nèi)進(jìn)行多點(diǎn)同時(shí)分析

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技術(shù)規(guī)格

上海伯東代理 ULVAC-PHI 愛發(fā)科費(fèi)恩斯全自動(dòng)化多功能掃描微聚焦 X 射線光電子能譜儀 PHI GENESIS 500, 適用于電池, 半導(dǎo)體,光伏, 新能源, 有機(jī)器件, 納米顆粒, 催化劑, 金屬材料, 聚合物, 陶瓷等固體材料及器件領(lǐng)域.

光電子能譜儀 PHI GENESIS 500 特點(diǎn): 為電池, 半導(dǎo)體, 有機(jī)器件以及其他各領(lǐng)域提供全面解決方案
既可常規(guī)高通量測試,又可微區(qū)高性能測試
易操作式多功能選配附件
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高性能大面積和微區(qū) XPS 分析
快速精準(zhǔn)深度剖析: 上海伯東 PHI GENESIS 500 可實(shí)現(xiàn)高性能的深度剖析. 聚焦 X 射線源, 高靈敏度探測器, 高性能氬離子槍和高效雙束中和系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)深度剖析, 包括在同一個(gè)濺射刻蝕坑內(nèi)進(jìn)行多點(diǎn)同時(shí)分析

光電子能譜儀 PHI GENESIS 500 應(yīng)用場景
上海伯東代理的光電子能譜儀 XPS 適用于科學(xué)研究和高科技產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域, 包括材料科學(xué), 能源科學(xué), 半導(dǎo)體器件, 微電子器件以及表面處理和表面異常檢測等.

用于全固態(tài)電池, 半導(dǎo)體, 光伏, 催化劑等領(lǐng)域的先進(jìn)功能材料都是復(fù)雜的多組分材料, 其研發(fā)依賴于化學(xué)結(jié)構(gòu)到性能的不斷優(yōu)化. 上海伯東代理全新表面分析儀器“PHI GENESIS” 全自動(dòng)多功能掃描聚焦 X射線光電子能譜儀, 具有卓越性能, 高自動(dòng)化和靈活的擴(kuò)展能力, 可以滿足客戶的所有分析需求

電池
" LiPON/LiCoO? 橫截面的 pA-AES Li 化學(xué)成像”
Li 基材料例如LiPON, 對電子束輻照敏感.
PHI GENESIS 500 提供的高靈敏度能量分析器可以在低束流(300pA)下快速獲取AES 化學(xué)成像。

光電子能譜儀 PHI GENESIS 500
什么是光電子能譜儀 XPS

XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy),又稱 ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis),是利用 X射線入射樣品表面, 探測樣品表面出射的光電子,來獲得表面組成及化學(xué)態(tài)信息的一種表面分析方法. XPS 可對元素成分進(jìn)行定性定量分析,同時(shí)通過微聚焦掃描技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)空間分辨能力.