上海伯東美國(guó) InTest 旗下 Temptronic ThermoChuck 是用于晶圓測(cè)試的導(dǎo)電加熱和冷卻系統(tǒng), 一般搭配晶圓探針臺(tái)共同使用, 提供 -65 至 +200°C 高低溫環(huán)境, 適用晶圓 150 mm, 200 mm, 可用于激光微調(diào) Laser Trim 和晶圓老化 Burn-in 測(cè)試, 例如低泄漏探測(cè) (fA級(jí)) 和高電壓探測(cè) (高達(dá)10 kv) , 適用于晶圓, 芯片在電高低溫環(huán)境下的特性描述, 失效分析等. Temptronic ThermoChuck 適合各種廠(chǎng)牌晶圓探針臺(tái), 為確保兼容性, 具體選型還請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東
ThermoChuck 在售型號(hào)
適用晶圓尺寸: 150 和 200 mm
電壓 115V 或 220V
|
型號(hào) |
溫度范圍°C |
冷卻 |
加熱 |
|
TP03000A |
-65 to +200°C |
機(jī)械制冷, 密閉乙二醇循環(huán)冷卻 |
熱電 |
|
TP03010A |
+20 to +200°C |
風(fēng)冷或水冷* |
熱電 |
|
TP03010B |
0 to +200°C |
密閉乙二醇循環(huán)冷卻或水冷 |
熱電 |
* 用戶(hù)提供冷卻介質(zhì)
