上海伯東美國 InTest 旗下 Temptronic ThermoChuck 是用于晶圓測試的導電加熱和冷卻系統, 一般搭配晶圓探針臺共同使用, 提供 -65 至 +200°C 高低溫環境, 適用晶圓 150 mm, 200 mm, 可用于激光微調 Laser Trim 和晶圓老化 Burn-in 測試, 例如低泄漏探測 (fA級) 和高電壓探測 (高達10 kv) , 適用于晶圓, 芯片在電高低溫環境下的特性描述, 失效分析等. Temptronic ThermoChuck 適合各種廠牌晶圓探針臺, 為確保兼容性, 具體選型還請聯絡上海伯東
ThermoChuck 在售型號
適用晶圓尺寸: 150 和 200 mm
電壓 115V 或 220V
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型號 |
溫度范圍°C |
冷卻 |
加熱 |
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TP03000A |
-65 to +200°C |
機械制冷, 密閉乙二醇循環冷卻 |
熱電 |
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TP03010A |
+20 to +200°C |
風冷或水冷* |
熱電 |
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TP03010B |
0 to +200°C |
密閉乙二醇循環冷卻或水冷 |
熱電 |
* 用戶提供冷卻介質
