上海伯東德國(guó)普發(fā) Pfeiffer vacuum 高精度氣體分析儀 HiQuad® Neo 質(zhì)量范圍可選 1-512 u, 測(cè)量速度 125 μs/u, 使用 PV MassSpec 軟件, 操作簡(jiǎn)單. Pfeiffer HiQuad® Neo 可作為獨(dú)立設(shè)備集成在系統(tǒng)中, 適用于科研和各類分析系統(tǒng). HiQuad® Neo 質(zhì)譜分析儀模塊化設(shè)計(jì), 根據(jù)實(shí)際需要可以自由選擇質(zhì)量范圍, 離子源, 放大器, IO 接口等.
質(zhì)譜分析儀 HiQuad® Neo ( QMG 800 )基本組成
QMS 800: 機(jī)架控制單元與雜項(xiàng)板
QMH 800: 射頻發(fā)生器
QMA 400/430: 四級(jí)桿分析儀
EP 822: 前置放大器
PV MassSpec software: 操作軟件
質(zhì)譜分析儀 HiQuad® Neo 技術(shù)規(guī)格
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質(zhì)量數(shù) u |
1-300 |
1-512 *3 |
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檢測(cè)極限 hPa |
2X10-15 |
1X10-15 |
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Ar 靈敏度,最低 *1) A/hPa |
2X10-4 |
5X10-4 |
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最大工作壓力 法拉第 hPa |
1X10-4 |
1X10-4 |
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最大工作壓力 SEV hPa |
1X10-5 |
1X10-5 |
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分壓比 SEV ppb |
<1 |
<0.5 |
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測(cè)量振動(dòng), 最小 |
125 μs/u – 60 s/u |
125 μs/u – 60 s/u |
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分析儀 |
QMA 430 |
QMA 400 |
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桿系統(tǒng), 材料/直徑 mm |
不銹鋼 / 8 |
Mo / 8 |
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高頻發(fā)生器 HF |
QMH 800-3 |
QMH 800-5 |
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測(cè)電計(jì)前置放大器 |
EP 822 |
EP 822 |
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分析儀工作溫度 °C |
150 |
150 |
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分析儀烘烤溫度 °C |
400 |
400 |
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連接法蘭 |
DN 63 CF-F |
DN 63 CF-F |
*1) 偏轉(zhuǎn)單元中的法拉第, 單位分辨率, 帶磁鐵的交叉束離子源, 發(fā)射 1 mA
*2) 帶磁鐵, 最高 300°C
*3) 八小時(shí)內(nèi)穩(wěn)定性 < 0.1％, 對(duì)于質(zhì)量 40 和 41 u, 對(duì)鄰近質(zhì)量的影響 < 0.1 ppm
質(zhì)譜分析儀 HiQuad® Neo 應(yīng)用
適用于更高精度要求和測(cè)量速度要求的 EUV 極紫外光刻的潔凈度驗(yàn)證 , 科研和各類分析系統(tǒng).
上海伯東根據(jù)您的實(shí)際需求, 提供可定制版本的質(zhì)譜分析儀, 例如: 壓力控制進(jìn)氣, 特殊進(jìn)氣系統(tǒng), 特殊外殼設(shè)計(jì)等, 滿足不同應(yīng)用. 點(diǎn)擊了解更多應(yīng)用案例 >>
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