高分析精度與生產就緒的可靠性相結合
智能軟件: 集成軟件的直觀控制, 數據采集和量化, 支持先進的數據分析
廣泛的應用范圍: 理想的氣體純度分析, 真空監測, 泄漏檢測和實時過程控制領域, 如氣體雜質分析, 光催化, 熱催化, 半導體制造先進材料加工.
Hakuto 自研在線質譜分析儀應用場景
光催化 / 熱催化
石油裂解 / 煤氣分析
燃燒室管理: 燃燒室指紋識別和匹配
ALD, ALE, 干泵管理, EUV 鏡像管理
泄漏檢測
氣體輸送監測(純度和雜質)
新能源電池
上海伯東提供可定制版本的質譜分析儀, 例如: 壓力控制進氣, 特殊進氣系統, 特殊外殼設計等, 滿足不同應用.
技術參數
上海伯東 Hakuto 自研在線質譜分析儀核心分析技術
質量范圍: 高達 300amu(適用于廣泛的工藝氣體和副產品)
高速讀取: 高達 1000 讀數/秒每 amu 快速過程監控和準確的端點檢測
先進的質量過濾器: 采用先進的四極桿質譜, 優越的質量分離和信號穩定性
雙探測器系統: 具有雙法拉第/二次電子倍增器(SEM), 具有寬動態范圍和低檢測極限
集成過程邏輯控制器: 允許在室內安裝和直接控制本地過程環境
行業標準通信: 支持高速, 確定性協議, 如 EtherCAT, Modbus 無縫工具集成
智能軟件: 直觀的 GUI(圖形用戶界面)控制, 數據采集和自動分析
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型號 |
Hakuto Genius 在線質譜分析儀 |
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分析技術 |
四極桿質譜 QMS |
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質量數 |
1 - 100 / 200 / 300 amu |
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分析器類型 |
四極質量過濾器 |
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離子發生器 |
電子撞擊電離器 |
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探測器 |
法拉第 /二次電子倍增器(SEM) |
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真空系統 |
內部集成緊湊設計的渦輪分子泵 |
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取樣壓力范圍 |
1E-5 torr 至 30 psi |
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通信協議 |
EtherCAT, Modbus, RS232 / RS432 |