高分析精度與生產就緒的可靠性相結合
智能軟件: 集成軟件的直觀控制, 數據采集和量化, 支持先進的數據分析
廣泛的應用范圍: 理想的氣體純度分析, 真空監測, 泄漏檢測和實時過程控制領域, 如氣體雜質分析, 光催化, 熱催化, 半導體制造先進材料加工.

Hakuto 自研在線質譜分析儀應用場景
光催化 / 熱催化
石油裂解 / 煤氣分析
燃燒室管理: 燃燒室指紋識別和匹配
ALD, ALE, 干泵管理, EUV 鏡像管理
泄漏檢測
氣體輸送監測(純度和雜質)
新能源電池

上海伯東提供可定制版本的質譜分析儀, 例如: 壓力控制進氣, 特殊進氣系統, 特殊外殼設計等, 滿足不同應用.
 

主要型號

技術參數

上海伯東 Hakuto 自研在線質譜分析儀核心分析技術
質量范圍: 高達 300amu(適用于廣泛的工藝氣體和副產品)
高速讀取: 高達 1000 讀數/秒每 amu 快速過程監控和準確的端點檢測
先進的質量過濾器: 采用先進的四極桿質譜, 優越的質量分離和信號穩定性
雙探測器系統: 具有雙法拉第/二次電子倍增器(SEM), 具有寬動態范圍和低檢測極限
集成過程邏輯控制器: 允許在室內安裝和直接控制本地過程環境
行業標準通信: 支持高速, 確定性協議, 如 EtherCAT, Modbus 無縫工具集成
智能軟件: 直觀的 GUI(圖形用戶界面)控制, 數據采集和自動分析

型號

Hakuto Genius  在線質譜分析儀

分析技術

四極桿質譜 QMS

質量數

1 - 100 / 200 / 300 amu

分析器類型

四極質量過濾器

離子發生器

電子撞擊電離器

探測器

法拉第 /二次電子倍增器(SEM)

真空系統

內部集成緊湊設計的渦輪分子泵

取樣壓力范圍

1E-5 torr 至 30 psi

通信協議

EtherCAT, Modbus, RS232 / RS432