. 最高冷卻功率 30 kW
. 溫度范圍:  -100 至 300 °C, 標準或定制機型
. 適合各種熱交換流體
. 風冷和水冷
. 導熱流體壓力和流量控制
. ISO 9001:2015 和 ITAR 認證
. 可編程的觸摸屏

Thermonics 超低溫冰水機, 風冷型

型號

溫度范圍
°C

精度
°C

冷卻能力 kW @ 20°C 供水

泵抽速
l/min

資料下載

25

0

-20

-40

-45

-60

-70

-80

A-40-1100

-40 至 +50

±0.5

6.6

6.6

4.0

1.1

0.5

-

-

-

15

 

A-40-1900

-40 至 +50

±0.5

9.5

9.5

5.4

1.9

0.7

-

-

-

23

 

A-40-2700

-40 至 +50

±0.5

14.5

14.5

9.6

2.7

1.2

-

-

-

38

 

A-60-2700

-60 至 +50

±0.5

3.9

3.9

3.6

3.1

3.0

2.7

-

-

11

A-60-3000

-60 至 +50

±0.5

4.6

4.6

3.7

3.5

3.4

3.0

-

-

23

  

A-60-4600

-60 至 +50

±0.5

6.7

6.7

6.1

5.3

5.1

4.6

-

-

30

  

A-80-500

-80 至 +50

±0.5

2.3

2.3

2.2

2.1

2.0

1.8

1.5

0.5

11

  

A-80-1700

-80 至 +50

±0.5

3.4

3.5

3.1

2.8

2.7

2.3

2.1

1.7

23

  

A-80-2400

-80 至 +50

±0.5

5.0

5.1

4.5

3.9

3.8

3.3

3.1

2.4

30

  


Thermonics 超低溫冰水機, 水冷型

型號

溫度范圍
°C

精度
°C

冷卻能力 kW @ 20°C 供水

泵抽速
l/min

資料下載

25

0

-20

-40

-45

-60

-70

-80

W-40-1100

-40 至 +50

±0.5

8.0

8.0

4.6

1.1

0.6

-

-

-

15

  

W-40-2000

-40 至 +50

±0.5

10.0

10.0

6.0

2.0

1.0

-

-

-

23

  

W-40-3100

-40 至 +50

±0.5

15.5

15.5

10.0

3.1

1.4

-

-

-

38

  

W-60-2800

-60 至 +50

±0.5

4.0

4.0

3.7

3.2

3.1

2.8

-

-

11

  

W-60-3100

-60 至 +50

±0.5

4.7

4.7

4.3

3.7

3.6

3.1

1.1

-

23

  

W-60-4700

-60 至 +50

±0.5

6.8

6.8

6.2

5.4

5.2

4.7

4.0

-

30

  

W-80-600

-80 至 +50

±0.5

2.5

2.5

2.3

2.1

2.0

1.8

1.6

0.6

11

  

W-80-1800

-80 至 +50

±0.5

3.5

3.5

3.2

2.9

2.8

2.4

2.2

1.8

23

  

W-80-2500

-80 至 +50

±0.5

5.1

5.1

4.5

4.0

3.9

3.4

3.2

2.5

30

  

* 所有水冷和風冷型號液體壓力是 50 PSIG 或更少
* -40 和-60°C 的低溫性能使用 Syltherm XLT 熱傳導液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 熱傳導液
* 如果需要使用其他類型熱傳導液或流速, 請聯(lián)絡上海伯東

Thermonics 超低溫冰水機典型應用
1. 半導體行業(yè): 在離子注入機中冷卻硅片夾
2. 燃料電池能源: 低溫冷卻進入儲罐的廢氣, 從廢氣中冷凝和分離二氧化碳
3. 科研領域: 在一個壓力容器中, 加熱和冷卻銅塊

Thermonics® 制冷機主要應用于能源, 化學工藝, 工業(yè)和半導體制造, 例如如下:

制冷機類型

冷卻方式

Max.Capacity

溫度范圍

導熱介質(zhì)

應用市場

傳導液制冷
雙極

水冷

5kW @ -20°C

-40 至 25°C    

Syltherm XLT

化學

傳導液制冷
單極

水冷

2.5kW @ -60°C

-60 至 25°C

Syltherm XLT

化學

傳導液制冷
單極

風冷

270W @ -50°C

-50 至 120°C

HFE-7500   

半導體

傳導液制冷
雙極

風冷

300W @ -80°C

-80 至 200°C

Syltherm XLT

國防

傳導液制冷
雙極

風冷

3KW @ -60°C

-60 至 20°C

KRYO 60 

能源

氣體制冷
自然復疊

風冷

-100 °C @ 8 scfm

-100 °C至空氣

清潔,干燥空氣

工業(yè)

傳導液制冷
雙極

水冷

2.2KW @ 20°C

-50 至 40 °C

HFE-7500

半導體

傳導液制冷
單極

水冷

12KW @ 15°C

-15 至 20 °C

PGW (25%)

半導體

氣體制冷
自然復疊

風冷

-90°C @ 18scfm

-90 至 225 °C

清潔,干燥空氣

汽車

傳導液制冷
單極

風冷

1.5 KW @ -30 °C

-40 至 50 °C

Syltherm XLT

工業(yè)

傳導液制冷
雙極

水冷

3.3KW @ -50°C

-50 至 20 °C

Syltherm HF

汽車


Thermonics 低溫冰水機原理:
Thermonics 超低溫冰水機 

Thermonics 超低溫冰水機在半導體行業(yè)中的應用
前端 Front End
離子注入 Ion Implant
蝕刻設備 Etch: 降溫晶圓,
沉積設備 Deposition
后端 Back End
各種測試處理 Final Test Handlers:
舉例: Thermonics 冰水機將制冷液體泵入測試設備進行半導體器件的冷態(tài)測試, Thermonics 冰水機可與各類半導體測試設備聯(lián)用.

美國 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低溫冰水機和 -120°C 超低溫冰水機用于冷卻工藝過程中的氣體和液體. 型號包含低溫液體冰水機, 超低溫氣體冰水機和超低溫液氮, 液態(tài)二氧化碳制冷機. Thermonics 低溫冰水機可選水冷或氣冷, 并與各種導熱液體兼容. 滿足各種超低溫工藝冷卻需求, 廣泛應用于化學, 能源, 半導體, 汽車等領域. 上海伯東是美國 Thermonics 超低溫冰水機中國總代理.