主要型號
技術參數
Pfeiffer 模擬信號真空計 ActiveLine 技術參數:
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型號 |
接口 |
真空計測量范圍 hPa |
工作溫度°C |
真空計測量精度 |
極限壓力 |
重量 |
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APR 系列 |
DN 16 ISO-KF |
5至55000 |
10-80 |
± 2% |
75,000 |
120 |
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CMR 系列 |
DN16 ISO-KF |
1100至10-5 |
5-55 |
± 0.2% |
3000 |
900 |
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PCR 280 |
DN16 ISO-KF |
1500至5x10-5 |
10-50 |
± 2.5% |
1500 |
120 |
|
TPR 系列 |
DN 16 ISO-KF |
5X10-4 至1000 |
80/250 |
± 15% |
1000 kPa |
80 |
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IKR 系列 |
DN 25 ISO-KF |
5X10-11 至10-2 |
5-55 |
± 30% |
10,000 |
700 |
|
PKR 系列 |
DN25ISO-KF |
5X10-9至1000 |
5-55 |
± 30% |
10,000 |
700 |
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IMR 265 |
DN16 ISO-KF |
2X10-6至1000 |
0-50 |
± 15% |
10,000 |
270 |
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PBR 360 |
DN 25 ISO-KF |
1000至5x10-10 |
0-50 |
± 15% |
2,000 |
285 |
Pfeiffer 模擬信號真空計 ActiveLine 應用行業
1.研究設施
2.分析設備
3.研究和生產涂料設施
4.泄漏檢測系統
5.半導體開發和生產
6.光伏
7.工業真空工藝系統