真空產品主要技術參數如下:

分子泵

HiPace 700

品牌

極限真空 hPa

N2 抽速 l/s

N2 壓縮比

最高啟動壓強mbar

全轉速氣體流量hPa l/s

電壓

德國 Pfeiffer

< 5 X10-10

685

> 1X1011

11(N2)

6.5(N2)

48 ± 5 % V DC

 

全量程真空計

PKR 251

品牌

測量范圍

測量精度

烘烤溫度

燈絲

密封方式

電壓

德國 Pfeiffer

1,000 至 5 X10-9 hPa

10-8 至 102 hPa

 ± 5 %

≤ 150 °C

鎢

FPM 密封

15-30 V DC

 

真空閘閥

HVA 6寸

品牌

極限真空
mbar

驅動方式

口徑

最小漏率

打開前最大壓力

烘烤溫度

美國 HVA

1X10-10

氣動

DN 160 CF-F

< 2 x 10-9 mbar l/s

≤ 30 mbar

≤150 °C


* 鑒于信息保密,更詳細的分子泵應用歡迎致電 021-5046-3511

上海伯東真空產品集成在 OLED 真空系統中

了解詳情
上海伯東:葉小姐                              臺灣伯東:王小姐
M: +86 1391-883-7267                      M: +886-939-653-958

 

上海伯東版權所有,翻拷必究!

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伯東公司成立于1953 年,從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作。 重視以人為本的經營理念、與您密切合作,專業服務及時周到,我們為未來的技術提供支持,找到創新且節能的真空技術解決方案。

上海伯東 Pfeiffer 普發真空產品授權代理商,銷售維修普發 Pfeiffer 真空產品20余年,協助客戶選型并提供完善的售后維修服務。擁有100%原裝進口維修設備和備品配件,提供快速維修服務。

專業銷售 維修團隊

國際知名真空品牌指定授權代理商,全權負責在中國地區的銷售和維修服務,100% 原廠進口零部件及國外受訓維修工程師;擁有完全的拆解,維修,校正能力,24小時在線服務。

提供世界一流的真空產品

上海伯東真空產品事業部秉承為廣大中國客戶提供世界一流的真空產品、推動中國真空工藝發展、承擔企業社會責任為經營理念,已累計為超過10,000家企業提供真空服務,覆蓋工業、半導體、鍍膜、科研和分析行業。

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更新 : 2025-12-15

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