真空腔室
材料: 鋁
有效尺寸: 700 x 700 x 1200 mm.
容積：490L
艙門: 裝有可視窗口
標準樣品托盤: 8個 標準尺寸: 620 * 675 mm
親水涂層厚度 10-50 nm
真空度測量
皮拉尼真空計
真空泵
干式真空泵泵組, 抽速 480 立方米每小時
頻射發生器
根據客戶應用需求定制
控制系統
PLC 可實現下列功能
1. 17 英寸觸摸屏, 自動控制反應過程;
2. 根據處理材料設定不同的處理工藝參數;
3. 測定真空泵壓力, 抽真空時間, 充氣速度, 工作壓力, 處理時間. 溫度. 頻射發生器輸入電壓等指標;
4. 監測所有的運行指標, 保證各項參數在設定范圍之內;
5. 設定操作進入密碼.
6. 可定制 ERP, SAP 系統接口
電源
380V AC, 三相, 50Hz, 40A
反應氣體
氣體輸入端口, 含氣體流量控制器 (MFC), 最多可以 5個 MFC, 可多種工藝氣體混合
氣體輸入
直徑1/4英寸（6.45mm） 管道, 輸入壓力:1Bar
尾氣排放
直徑 28mm 輸出端口, VOC 尾氣處理裝置
性能
急停開關; 真空泵保護鎖; 高溫保護鎖; CE認證.
