腔室

材料：鋁
有效尺寸：1000 x 700 x700mm
容積：490L
艙門：裝有可視窗口
標(biāo)準(zhǔn)托盤：3至5個(gè)    尺寸:858 x 672mm

真空度測(cè)量

皮拉尼真空計(jì)

真空泵

干式真空泵泵組

頻射發(fā)生器

根據(jù)客戶應(yīng)用需求定制

控制系統(tǒng)

PLC 可實(shí)現(xiàn)下列功能
1. 17 英寸觸摸屏, 自動(dòng)控制反應(yīng)過程;
2. 根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝參數(shù);
3. 測(cè)定真空泵壓力, 抽真空時(shí)間, 充氣速度, 工作壓力, 處理時(shí)間. 溫度. 頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo);
4. 監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo), 保證各項(xiàng)參數(shù)在設(shè)定范圍之內(nèi);
5. 設(shè)定操作進(jìn)入密碼.
6. 可定制 ERP, SAP 系統(tǒng)接口

電源

380V AC, 三相，50Hz, 40A

反應(yīng)氣體

氣體輸入端口, 含氣體流量控制器 (MFC), 最多可以 5個(gè) MFC, 可多種工藝氣體混合

氣體輸入

直徑1/4英寸（6.45mm） 管道, 輸入壓力:1Bar

尾氣排放

直徑 28mm 輸出端口, VOC 尾氣處理裝置

性能

急停開關(guān); 真空泵保護(hù)鎖; 高溫保護(hù)鎖; CE認(rèn)證.