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腔室 |
材料: 鋁 |
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真空度測量 |
1個皮拉尼真空計 |
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真空泵 |
旋片泵, 抽速 21 立方米每小時 |
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射頻發生器 |
根據客戶應用需求定制: 美國 SEREN 射頻電源和等離子發生器 |
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控制系統 |
PLC 可實現下列功能 |
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電源 |
380V AC, 三相, 50Hz |
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反應氣體 |
一個氣體輸入端口, 含氣體流量控制器(MFC) |
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氣體輸入 |
直徑1/4英寸(6.45mm) 管道, 輸入壓力:1Bar |
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尾氣排放 |
直徑 28mm 輸出端口 |
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性能 |
急停開關; 真空泵保護鎖; 高溫保護鎖; CE認證. |
上海伯東代理 Europlasma 低壓等離子機, 通過使用不同的工藝氣體, 可以實現材料的親水, 疏水, 活化, 接枝等處理. 真空條件下, 通過在材料淺表面實現低壓等離子表面聚合或者原子層沉積, 從而賦予材料新的功能, 不影響材料本身的性能.
鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解 Europlasma 等離子機詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
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上海伯東版權所有, 翻拷必究!
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