檢漏過(guò)程: 真空模式檢漏, CVD 設(shè)備, 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 D 和 ISP-500C 渦旋泵搭建為三通系統(tǒng), 檢漏流程是先把 CVD 設(shè)備封閉, 再打開(kāi)檢漏的接口, 然后啟動(dòng)渦旋泵預(yù)抽腔體真空至 1500 Pa. 腔體真空度穩(wěn)定在 1500 Pa 后, 啟動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀, 設(shè)定檢漏儀漏率為 1E-10 mbrl l/s, 從腔體外面噴氦氣 He(在懷疑有漏的部位,比如閥門(mén), 接口, 焊接處等地方), 如果漏率低于 1E-10 mbrl l/s, 則判定為設(shè)備泄漏率是合格的, 如果泄漏率高于 1E-10 mbrl l/s, 檢漏儀會(huì)報(bào)警, 并定點(diǎn)定量顯示噴氦氣的位置和漏率.
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型號(hào) |
ASM 340 D |
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對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率 |
5E-13 Pa m3/s |
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檢測(cè)模式 |
真空模式和吸槍模式 |
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檢測(cè)氣體 |
4He, 3He, H2 |
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啟動(dòng)時(shí)間 min |
3 |
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對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s |
2.5 |
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進(jìn)氣口最大壓力 hPa |
25 |
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前級(jí)泵抽速 m3/h |
隔膜泵 3.4 m3/ |
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重量 kg |
45 |
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