工藝

應用

泵的標準

使用的真空泵

低 / 中真空

高真空

泵類型

抽速 m3/h

真空度
hPa

泵類型

抽速 l/s

真空度
hPa

冶金

退火, 釬焊, 燒結, 鑄造, 硬化, 氮化

重粉塵,蠟,NH3（氮化）,助焊劑

旋片泵或干式泵或羅茨泵組合

500 至 8000

1 至 10-3

渦輪分子泵

700 至 3,000

10-3 至 10-8

電子束焊接

金屬粉塵,濕度,電子槍上的 X 射線

旋片泵或干式泵或羅茨泵組合

500 至 8000

10-2至 10-4

渦輪分子泵

300 至 1000

高達 10-7

冷凍干燥

實驗室,制藥,食品

H2O,溶劑

兩級旋片泵

2 至 20
1000 至 2000

< 10-2

制藥

H2O

兩級羅茨泵或干式泵組合

1000 至 2000

< 10-3

食品

H2O,酸,鞣劑

多級羅茨泵或旋片泵或干式泵組合

500 至 4000

< 10-2

變壓器干燥

線圈干燥,充油過程中的抽氣

H2O,丹寧酸,蠟,聚合物

多級羅茨泵或旋片泵或干式泵組合

1000 至 12000

< 10-2

油脫氣

H2O

兩級旋片泵,多級羅茨泵或旋片泵組合

150 至 250
500 至 2000

< 10-2

泄漏檢測

汽車零部件,包裝,桶,真空系統

批量變化時室壁上的 H2O,潮濕的塑料

兩級旋片泵,多級羅茨泵或旋片泵組合

5 至 65 或
1000 至 2000
氦氣檢漏儀

< 10-2至< 10-3

渦輪分子泵

70 至 700

<10-6

醫療加速器

在光束線和離子/電子同步加速器中產生超高真空

伽瑪射線和中子射線很好的 H2 抽速

隔膜泵, 單級旋片泵, 離子吸氣泵

2 至 4
< 100

2 至 3
< 1

渦輪分子泵

70 至 700

<10-6至10-8

等離子體處理

滅菌

通過 H2O2, 臭氧的強氧化

兩級旋片泵

5 至 20

< 10-2

清潔

臭氧,氨

干式泵

25 至 40

< 10-1

真空灌裝

汽車零部件, 如制動器, 空調, 伺服機構, 制冷壓縮機

侵蝕性制動液,致冷劑 (Atex)

特殊版本的單級和兩極旋片泵

10 至 65

< 10-2

電池生產

干燥, 填充, 泄漏檢測

腐蝕性電解質,鹽

單級旋片泵, 兩極旋片泵, 干式泵, 氦氣檢漏儀

200 至 600
10 至 250
25至 600

0,1 至 10-2

特殊氣體

氣缸排空, 特征化 / 純凈, 填充

腐蝕, 污染預防

旋片泵, 羅茨泵, 干式泵, 質譜儀, 氦氣檢漏儀

20 至 65
250 至 1000
15 至 40
1-300 amu

10-2 至 10-3

真空鍍膜

玻璃

粉塵, 碎玻璃

單級旋片泵或羅茨泵組合

600 至 2000

< 10-3

渦輪分子泵

2000

10-3 至 10-4

預載室

機械應力

單級旋片泵，干式泵

500 至 600

>5

光學鍍膜,

粉塵

單級旋片泵或羅茨泵組合

650 至 2000

< 5X10-2

渦輪分子泵

1500 至 2000

10-3 至 10-5

預載室

機械應力

單級旋片泵或羅茨泵組合

500 至 600

< 5 X 10-2

磨損保護,

粉塵

兩級旋片泵或羅茨泵組合

600 至 1000

< 1至 5

渦輪分子泵

1500 至 2000

10-3至 10-6

預載室

機械應力

單級旋片泵或羅茨泵組合

500 至 600

< 5 X 10-2

太陽能

PVD

粉塵

干式泵或羅茨泵組合

600 至 2000

10-3 至 10-5

渦輪分子泵

1200 至 2000

10-3 至 10-5

CVD

粉塵, 升華

干式泵或羅茨泵組合

600 至 4000

< 200