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設備型號 |
腔體 |
腔體尺寸 |
托盤 |
托盤尺寸 l x w x h |
有用的空間 |
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Junior Nanofics® |
50 |
500mm x400mm x250mm |
1 |
360mm x 360mm x 40mm |
0.12 |
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CD600 Nanofics® |
282 |
900mm x 570mm x 550mm |
3 |
765mm x 512mm x 40mm |
0.39 |
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CD1000 Nanofics® |
490 |
1000mm x 700mm x 700mm |
3 |
858mm x 672mm x 40mm |
0.58 |
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CD600 PlasmaGuard® |
282 |
900mm x 570mm x 550mm |
3 |
765mm x512mm x40mm |
0.39 |
|
CD1000 PlasmaGuard® |
490 |
1000mm x 700mm x 700mm |
3 |
858mm x672mm x40mm |
0.58 |
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CD1836 Nanofics® |
1836 |
1600mm x850mm x1350mm |
4 (垂直) |
760mm x270mm x1060mm |
0.22 (槽) |
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