確認需要達到的最終壓力
根據真空范圍, 使用環境, 選擇合適的真空泵
低真空: 1000 至 1 mbar, 可選旋片泵, 渦旋干泵, 隔膜泵, 螺桿泵, 多級羅茨泵, 羅茨泵
中真空: 1至 10^-3 mbar, 可選雙級旋片泵, 渦旋干泵, 螺桿泵, 多級羅茨泵, 羅茨泵站
高真空: 10^-3 至 10^-7 mbar ,可選分子泵組或前級泵+分子泵
有效改善真空泵抽空時間的幾點建議

選擇合適的泵的抽速
泵抽空時間決定了所需泵的抽速. 一般根據客戶要求的抽空時間, 選擇所需泵的抽速. 所需抽速取決于泵的抽空時間, 抽速越大, 抽空時間相對越短.

如何改善真空泵抽空時間: 減少真空系統管道長度
通過對比 DN 100 真空泵在如下三種情況下的抽速, 得到結論: 通過優化入口管道, 比如限制連接管道的長度 (泵放在靠近真空腔的地方) 和管道中閥門和彎管的數量, 管道直徑和泵進氣口一致. 可以有效改善真空泵的抽空時間.

有效改善真空泵抽空時間的幾點建議
* 名義抽速: 真空泵與腔體之間沒有管道連接, 直接連接

如何改善真空泵抽空時間: 保持腔體潔凈和干燥
氣體分子(主要是水)吸附在真空腔體的內表面, 并逐漸在真空下再次蒸發
通過下圖三種形式對比可知, 干燥空氣或氮氣排空可縮短排空時間, 腔體使用氮氣排氣, 腔體電拋光達到低解吸率, 可以改善真空泵抽空時間. 相反, 骯臟潮濕的腔體會延長排空時間.
有效改善真空泵抽空時間的幾點建議

如何改善真空泵抽空時間: 降低真空泵本身泄露率
泄漏率是指真空泵在工作狀態下泄漏的氣體量, 泄漏率越低, 真空泵抽取氣體的效率越高, 建立真空環境的速度也越快. 泄漏率受到真空泵密封性能和泵體結構等因素的影響. 上海伯東德國 Pfeiffer 分子泵 HiPace 整體泄露率 < 1X10^-7 mbar l/s. 渦旋干泵 HiScroll 整體泄露率 < 5X10^-6 mbar l/s.

型號	分子泵 HiPace	渦旋干泵 HiScroll	旋片泵 Duoline	多級羅茨泵 ACP
圖片
整體泄露率	< 1X10^-7 mbar l/s	< 5X10^-6 mbar l/s	< 1X10^-4 mbar l/s	< 5X10^-7 mbar l/s